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J-GLOBAL ID：201702243197641337   整理番号：17A0411312

浄化統一ポッドにおけるカーテン応用空気【Powered by NICT】

Air curtain application in a purged unified pod

著者 (4件)： Hu Shih-Cheng (Department of Energy and Refrigerating Air-conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan) ,  Lin Tee (Department of Energy and Refrigerating Air-conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan) ,  Fu Ben-Ran (Department of Mechanical Engineering, Ming Chi University of Technology, New Taipei City, Taiwan) ,  Wang Tian-Yi (Department of Energy and Refrigerating Air-conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan)
資料名： Applied Thermal Engineering  (Applied Thermal Engineering)
巻： 111  ページ： 1179-1183  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0667B  ISSN： 1359-4311  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 製造および輸送中のウエハ上の汚染(粒子,酸素,水分など)の除去または予防が重要である。例えば,水分と酸素をウエハ携帯型容器内の待機中のCuの酸化と損傷の原因となる。本研究では,ドアはミニ環境における開放された時パージFOUP(Front Opening Unified Pod;ウエハの貯蔵のための容器)に入る水分を防止するためにエアカーテンを採用している。実験結果は優れた水分防止性能はディフューザパージ法を用いてFOUPの低い領域付近で達成されたが,その上部領域近くのエアカーテンを適用した場合に優れた水分防止が達成されたことを示した。添加では,結果は,ディフューザパージとエアカーテンの両方の使用は水分防止への有望なアプローチであるかもしれないことを明らかにした。今回の結果は,半導体製造プロセスにおける実際的な応用に有用である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 銅 ,  半導体プロセス ,  酸素 ,  掃気 ,  水分 ,  *エアカーテン ,  ディフューザ ,  携帯型
準シソーラス用語： FOUP , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 相対湿度 ,  前面開放統一ポッド ,  ディフューザ ,  空気カーテン

分類 (2件)： 冷凍機応用  (PD04000A) ,  対流・放射熱伝達  (PA02030K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 浄化 ,  カーテン ,  応用