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J-GLOBAL ID：201702243802285638   整理番号：17A0300910

新しい携帯型薄膜型音響共振ガスセンサの開発と応用【JST・京大機械翻訳】

Development and Application of a New Type of Portable Film Bulk Acoustic Resonator Gas Sensor

著者 (7件)： Tang Ning (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University) ,  Chang Ye (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University) ,  Liu Jing (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University) ,  Qu Hemi (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University) ,  Zhang Daihua (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University) ,  Pang Wei (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University) ,  Duan Xuexin (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University)
資料名： Nami Jishu Yujingmi Gongcheng  (Nami Jishu Yujingmi Gongcheng)
巻： 14  号： 5  ページ： 331-336  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2959A  ISSN： 1672-6030  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： MEMS技術に基づく新しいタイプの超音波音響共振器(FBAR)は,多くの揮発性ガスの高スループット検出を実現することができる。本論文では、薄膜の音響共振器表面に異なる化学官能基の修飾を行うことにより、センサアレイを形成し、揮発性ガスは異なる化学官能基で修飾したデバイス界面で選択的に堆積し、センサーの共振周波数の変化を監視することにより、ガス応答の特徴バーコードを形成する。これにより,異なる揮発性ガスをより正確に検出することができた。従来のガス検出法と比較して,MEMS技術を採用することによって,このセンサは,体積が小さく,反応が速く,感度が高く,同時に,多重化学的官能基によって修飾されたアレイセンサによって,異なるガスを検出することができた。それは,ガス検出の効率,識別能力,および精度を大いに改善した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： センサアレイ ,  MEMS ,  バーコード ,  揮発性 ,  *音響 ,  界面 ,  超音波 ,  *共振 ,  音響共振器 ,  *携帯型 ,  *ガスセンサ ,  共振周波数
準シソーラス用語： 官能基 ,  ハイスループット ,  FBAR , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： portable gas sensor ,  MEMS ,  film bulk acoustic resonator (FBAR) ,  supramolecular chemistry

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (7件)： 携帯型 ,  薄膜 ,  音響 ,  共振 ,  ガスセンサ ,  開発 ,  応用