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J-GLOBAL ID：201702244969042512   整理番号：17A0414094

励磁コイル変化による誘導結合放電におけるモード遷移の特性の比較【Powered by NICT】

Comparisons of the Characteristic on the Mode Transition in an Inductively Coupled Discharge by Exciting Coil Change

著者 (6件)： Zhang Xiao (Department of Modern Physics, CAS Key Laboratory of Geospace Environment, University of Science and Technology of China, Hefei, China) ,  Cao Jin-Xiang (Department of Modern Physics, CAS Key Laboratory of Geospace Environment, University of Science and Technology of China, Hefei, China) ,  Liu Yu (CAS Key Laboratory of Geospace Environment, School of Earth and Space Science, University of Science and Technology of China, Hefei, China) ,  Wang Yan-Peng (Department of Modern Physics, CAS Key Laboratory of Geospace Environment, University of Science and Technology of China, Hefei, China) ,  Yu Peng-Cheng (Department of Modern Physics, CAS Key Laboratory of Geospace Environment, University of Science and Technology of China, Hefei, China) ,  Zhang Zhong-Kai (Department of Modern Physics, CAS Key Laboratory of Geospace Environment, University of Science and Technology of China, Hefei, China)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 45  号： 3  ページ： 338-345  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： モード遷移の特性に及ぼす影響を異なるサイズアンテナを用いたスパイラル型誘導結合放電で調べた,異なるターン,間隔と高さである。比較的小さな間隔の場合,遷移パワー,EからHモードへまたはHからEへのモードかどうか,二ターンアンテナ放電における間隔と共に減少し,高さは一定として三ターンアンテナ放電の遷移パワーは二ターンアンテナのそれよりかなり小さかった。すべてのこれらの結果は,非局所的速度論的重複領域における電子加熱の非線形増強機構に起因すると考えられる。さらに,遷移パワーは間隔と共にゆっくり減少し,最終的にプラズマシース中の散逸パワーは比較的明白であることが環境下で増加させることができる。一方,遷移パワーは同じ間隔で三ターンアンテナ放電における最小値保持の様に思われる。これらの実験結果は,アンテナコイル,間隔を用いた高周波結合効率の減少をもたらす相対的に大きな鞘とJoule加熱を横断して増加した電力損失に起因する可能性がある。,非線形増強効果とthickenシースの複合効果は,異なるタイプのアンテナ放電におけるモード遷移パワーの変化則に重要な因子である。誘導結合放電におけるモード遷移に及ぼす工業生産応用と基礎理論研究に重要である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： Hモード閉込め ,  HF【周波数】 ,  *電磁結合 ,  速度論 ,  *放電 ,  アンテナ ,  抵抗加熱 ,  工業生産 ,  プラズマさや
準シソーラス用語： 電力損失 ,  結合効率 ,  電子加熱 ,  *励磁コイル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 励磁コイル ,  誘導結合 ,  放電 ,  モード遷移