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J-GLOBAL ID：201702245878138788   整理番号：17A0206071

抵抗の可変温度係数を用いた超高感度ひずみゲージ【Powered by NICT】

Ultrasensitive strain gauge with tunable temperature coefficient of resistivity

著者 (9件)： Yi Lizhi (School of Physics, Huazhong University of Science and Technology) ,  Jiao Weihong (School of Physics, Huazhong University of Science and Technology) ,  Zhu Changming (School of Physics, Huazhong University of Science and Technology) ,  Wu Ke (School of Physics, Huazhong University of Science and Technology) ,  Zhang Chao (School of Physics, Huazhong University of Science and Technology) ,  Qian Lihua (School of Physics, Huazhong University of Science and Technology) ,  Wang Shuai (School of Chemistry and Chemical Engineering, Huazhong University of Science and Technology) ,  Jiang Yingtao (Nevada Nanotechnology Center & Department of Electrical and Computer Engineering, University of Nevada) ,  Yuan Songliu (School of Physics, Huazhong University of Science and Technology)
資料名： Nami Yanjiu  (Nami Yanjiu)
巻： 9  号： 5  ページ： 1346-1357  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2652A  ISSN： 1998-0124  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： は8.3×10( 6)の低い記録検出限界をもつ不連続金属膜に基づく超高感度歪ゲージを実証した。膜においてナノメータ規模で良く調整可能な隙間で作製し,このゲージは1Hzから10kHzの周波数範囲を有する振動への超高速動的応答を示した。より重要なことは,金属膜の抵抗率の温度係数(TCR)は,ナノスケール隙間(負の温度依存性を示す)を横切るトンネリングと金属島(正の温度依存性を示す)内の電子伝導の可能性による除去効果のために調整可能であった。,隙間サイズは正確に設定できる場合,相殺TCRが達成可能である。,ナノスケール隙間を正確に制御する作製戦略を熱蒸着中の電気伝導率の実時間追跡による本研究で開発した。調整可能な熱ドリフトを持つ超高感度歪ゲージは優れた信頼性と精密装置およびウェアラブルエレクトロニクスのための多くの機会を紹介した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *歪計 ,  金属薄膜 ,  真空蒸着 ,  温度依存性 ,  電気伝導率 ,  検出限界 ,  トンネル効果 ,  *ゲージ ,  *温度係数 ,  電気抵抗率 ,  不連続性
準シソーラス用語： 電子伝導 ,  ナノスケール ,  超高速 ,  *超高感度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ひずみゲージ ,  柔軟なゲージ ,  Auナノ粒子 ,  音波検出 ,  橈骨動脈検出 ,  電子トンネリング

分類 (4件)： その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O) ,  金属結晶の電子伝導  (BM03033M) ,  誘電体一般  (BM05010F) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 可変 ,  温度係数 ,  高感度 ,  ひずみゲージ