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J-GLOBAL ID:201702246030442837   整理番号:17A0475318

触媒としての電着した貴金属ナノ粒子を用いた窒化ガリウムの金属支援光化学エッチング【Powered by NICT】

Metal-assisted photochemical etching of gallium nitride using electrodeposited noble metal nanoparticles as catalysts
著者 (4件):
資料名:
巻: 76  ページ: 59-62  発行年: 2017年 
JST資料番号: W1133A  ISSN: 1388-2481  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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多孔性窒化ガリウム(PGaN)層を触媒として電着した白金ナノ粒子(PtNP)または金ナノ粒子(AuNP)を用いる金属支援光化学エッチング(MaPCE)により作製した。適切な負電位と適切なサイクリックボルタンメトリー(CV)条件の同定後,高密度PtNPまたはAuNPは平面GaN基板上に堆積した。エネルギー準位,生成電子と正孔の移動と消費,および局所ガルバニ電池が形成されるという仮定の具体的数値に基づいて,GaNと他の半導体材料のエッチングに関する将来の研究のための理論的指針を提供するかもしれない,提案したエッチング機構。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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電気化学反応  ,  貴金属触媒 

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