文献

J-GLOBAL ID：201702246468406272   整理番号：17A0446210

高温で動作するTiO_2ガスセンサのO_2検出特性に及ぼす基板表面不純物の有害効果【Powered by NICT】

Adverse effect of substrate surface impurities on O₂ sensing properties of TiO₂ gas sensor operating at high temperature

著者 (6件)： Zhang Maolin (School of Advanced Materials and Nanotechnology, Xidian University, Xi’an 710071, PR China) ,  Xue Tongtong (School of Advanced Materials and Nanotechnology, Xidian University, Xi’an 710071, PR China) ,  Xu Shuya (School of Advanced Materials and Nanotechnology, Xidian University, Xi’an 710071, PR China) ,  Li Zhimin (School of Advanced Materials and Nanotechnology, Xidian University, Xi’an 710071, PR China) ,  Yan Yangxi (School of Advanced Materials and Nanotechnology, Xidian University, Xi’an 710071, PR China) ,  Huang Yunxia (School of Advanced Materials and Nanotechnology, Xidian University, Xi’an 710071, PR China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 7  ページ： 5842-5846  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 基板の表面状態は,ガスセンサのセンシング特性に大きな影響を与えることが知られている。本研究では,表面不純物濃度の異なる分布を持つアルミナ(Al_2O_3)基板を用いて,TiO_2基づくラムダセンサを調製した。いくつかの方法,XPS,XRD及びSEMを含む基板表面不純物含有量だけでなく,センシング膜の構造と基質とセンシング膜の間の界面形態を調べるために用いた。結果はより高いCa不純物を含むアルミナ基板上に作製したガスセンサは,600°C以上の高い動作温度で低酸素感度とより長い応答時間をdisplaidことを示した。,アルミナ基板上にCa不純物はTiO_2ラムダセンサを作製するとき,可能な値を低下させることが制限されなければならなかったと結論した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 応答時間 ,  アルミナ ,  カルシウム ,  *不純物 ,  X線回折 ,  基質 ,  *高温 ,  酸素欠乏 ,  不純物濃度 ,  界面 ,  *ガスセンサ
準シソーラス用語： 動作温度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： TiO_2ガスセンサ ,  基板不純物 ,  酸素センシング特性 ,  高温度

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (3件)： ガスセンサ ,  基板表面 ,  不純物