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J-GLOBAL ID：201702247877411179   整理番号：17A0402809

埋め込まれたGaPナノワイヤを用いた小型ZnO層の光学的および機械的性質【Powered by NICT】

Optical and mechanical properties of a compact ZnO layer with embedded GaP nanowires

著者 (10件)： Novak J. (Institute of Electrical Engineering, SAS, 841 04 Bratislava, Slovakia) ,  Laurencikova A. (Institute of Electrical Engineering, SAS, 841 04 Bratislava, Slovakia) ,  Hasenohrl S. (Institute of Electrical Engineering, SAS, 841 04 Bratislava, Slovakia) ,  Elias P. (Institute of Electrical Engineering, SAS, 841 04 Bratislava, Slovakia) ,  Novotny I. (Slovak University of Technology, Institute of Microelectronics and Photonics, 812 19 Bratislava, Slovakia) ,  Kovac J. (Slovak University of Technology, Institute of Microelectronics and Photonics, 812 19 Bratislava, Slovakia) ,  Valentin M. (Polymer Institute SAS, 845 41 Bratislava, Slovakia) ,  Kovac J. (Slovak University of Technology, Institute of Microelectronics and Photonics, 812 19 Bratislava, Slovakia) ,  Durisova J. (Department of Physics, Faculty of Electrical Engineering, University of Zilina, 01026 Zilina, Slovakia) ,  Pudis D. (Department of Physics, Faculty of Electrical Engineering, University of Zilina, 01026 Zilina, Slovakia)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 395  ページ： 180-184  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： コンパクトGaP NW/ZnO層構造に基づく複合材料反射防止膜の新しいタイプを提示した。構造はRFスパッタリングと有機金属気相エピタクシー(MOVPE)の組み合わせにより調製した。前者はGaPナノワイヤ,後者を成長しその上にZnOナノ粒子を堆積した。ナノワイヤはボイドの無い緻密なZnO層に完全にした。これはアルゴンイオンによるZnO蒸着とZnOエッチングを交互にことを注意深く最適化した技術で達成された。コンパクトな構造は,GaP基板での反射率と比較して反射率またはGaP NWとGaP基板で有意な減少を示した。ナノインデンテーション測定は,このようなコンパクトなGaP NW/ZnO層構造の微小硬さは純粋なZnO層のそれよりも良好であることを示した。構造もある程度擬弾性を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 最適化 ,  擬弾性 ,  ナノ粒子 ,  *酸化亜鉛 ,  反射率 ,  反射防止膜 ,  ナノインデンテーション ,  RFスパッタリング ,  *リン化ガリウム ,  エッチング ,  微小硬さ ,  MOCVD ,  *ナノワイヤ
準シソーラス用語： 反射防止 ,  層構造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Nanowires ,  コンパクト層 ,  反射防止 ,  Nanoindentor ,  Hardness

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： GAP ,  ナノワイヤ ,  ZnO ,  光学 ,  機械的性質