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J-GLOBAL ID：201702249222351837   整理番号：17A0863888

液輸送用のデュアルシリコンAFMプローブのためのマイクロ流路とノズル形成

Fabrication of embedded micro channel and nozzle for liquid delivering dual silicon AFM probe

著者 (5件)： HONG Jinseo (豊橋技科大) ,  増田雄介 (豊橋技科大) ,  三浦嘉隆 (豊橋技科大) ,  柴田隆行 (豊橋技科大) ,  峯田貴 (山形大)
資料名： 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MSS-17  号： 1-2.5-9  ページ： 15-16  発行年： 2017年06月29日 
JST資料番号： L2898B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  マイクロチャネル ,  ノズル ,  液体輸送 ,  片持梁 ,  *プローブ ,  ケイ素 ,  RIE【エッチング】
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  マイクロ流路 ,  液輸送 ,  カンチレバー ,  DRIE【エッチング】

分類 (1件)： 原子間相互作用  (BH04020U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 液輸送 ,  デュアル ,  シリコン ,  AFM ,  プローブ ,  マイクロ流路