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J-GLOBAL ID：201702249555512177   整理番号：17A0407416

Ti拡散LiTaO_3ストリップ導波路の組成,表面形態,光学的性質およびTiプロファイル特性【Powered by NICT】

Composition, surface morphology, optical properties and Ti profile characteristics of Ti-diffused LiTaO₃ strip waveguide

著者 (18件)： Yang Xiao-Fei (Department of Opto-electronics and Information Engineering, School of Precision Instruments and Opto-electronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Yang Xiao-Fei (Key Laboratory of Optoelectronic Information Technology (Ministry of Education), Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Zhang Zi-Bo (Department of Engineering, Pierre and Marie Curie University (University of Paris VI), 4 Place Jussieu, 75005 Paris, France) ,  Sun Hong-Xue (Department of Opto-electronics and Information Engineering, School of Precision Instruments and Opto-electronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Sun Hong-Xue (Key Laboratory of Optoelectronic Information Technology (Ministry of Education), Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Du Wan-Ying (Department of Opto-electronics and Information Engineering, School of Precision Instruments and Opto-electronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Du Wan-Ying (Key Laboratory of Optoelectronic Information Technology (Ministry of Education), Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Zhang Qun (Department of Opto-electronics and Information Engineering, School of Precision Instruments and Opto-electronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Zhang Qun (Key Laboratory of Optoelectronic Information Technology (Ministry of Education), Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Wong Wing-Han (Department of Opto-electronics and Information Engineering, School of Precision Instruments and Opto-electronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Wong Wing-Han (Key Laboratory of Optoelectronic Information Technology (Ministry of Education), Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Wong Wing-Han (Department of Electronic Engineering and State Key Laboratory of Millimeter Waves, City University of Hong Kong, 83 Tat Chee Avenue, Kowloon, Hong Kong, China) ,  Yu Dao-Yin (Department of Opto-electronics and Information Engineering, School of Precision Instruments and Opto-electronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Yu Dao-Yin (Key Laboratory of Optoelectronic Information Technology (Ministry of Education), Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Pun Edwin Yue-Bun (Department of Electronic Engineering and State Key Laboratory of Millimeter Waves, City University of Hong Kong, 83 Tat Chee Avenue, Kowloon, Hong Kong, China) ,  Zhang De-Long (Department of Opto-electronics and Information Engineering, School of Precision Instruments and Opto-electronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Zhang De-Long (Key Laboratory of Optoelectronic Information Technology (Ministry of Education), Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Zhang De-Long (Department of Electronic Engineering and State Key Laboratory of Millimeter Waves, City University of Hong Kong, 83 Tat Chee Avenue, Kowloon, Hong Kong, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 695  ページ： 2519-2524  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ti拡散LiTaO_3ストリップ導波路を湿式O_2雰囲気中で6時間1300°Cで8μm幅・100nm厚Tiストリップの内部拡散により作製した。その組成,表面形態,格子定数,光学特性とTiプロファイル特性を完全に特性化した。導波路はコングルエント組成環境にあることを示した。導波路表面はTiによって誘起された格子収縮,X線単結晶回折によって確認されたによる結晶表面下~70nmにおけるcaves。光学的キャラクタリゼーションは,導波路は,1.5μm波長でTEとTMの単一モード伝搬の両方を支持し,偏光無依存であり,TM(TE)モード0.4(0.3)dB/cmの損失を持つことを示した。二次イオン質量分析は,Ti分布が幅方向に二誤差関数の和と導波路の深さ方向のGauss関数に従うことを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *帯板 ,  X線 ,  波長 ,  格子定数 ,  誤差関数 ,  単結晶 ,  単一モード ,  キャラクタリゼーション ,  *チタン ,  X線回折 ,  偏光 ,  *導波路
準シソーラス用語： Gauss関数 ,  *表面形態 ,  *ストリップ導波路 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 光学材料 ,  結晶成長 ,  拡散 ,  光学的性質 ,  光分光法 ,  X線回折

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (7件)： Ti ,  拡散 ,  ストリップ導波路 ,  組成 ,  表面形態 ,  光学的性質 ,  プロファイル