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文献
J-GLOBAL ID:201702249578289975   整理番号:17A0829635

非平衡大気圧プラズマのシミュレーションの現状と展望 3.非平衡大気圧プラズマとの相互作用シミュレーション 3.3 プラズマと固体との相互作用

著者 (1件):
資料名:
巻: 92  号:ページ: 700-706  発行年: 2016年09月25日 
JST資料番号: G0114A  ISSN: 0918-7928  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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安定形成技術が確立した非平衡大気圧プラズマにおいて,材料プロセス,環境浄化,バイオ・医療への応用が進められている。一方で,放電プラズマと照射固体との相互作用メカニズムについては未解明な点が多く,理論的な検証が不可欠である。本節では,代表的な数値解析法を概説し,表面改質,触媒ガス処理,プラズマ医療における数値シミュレーション例を紹介するとともに,プラズマ-固体相互解析における将来展望と課題を述べる。(著者抄録)
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分類 (1件):
分類
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固体-プラズマ相互作用 
引用文献 (31件):
  • S. Kanazawa et al., J. Phys. D 21, 838 (1988).
  • 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会編大気圧プラズマ-基礎と応用-(オーム社,2009).
  • 杤久保文嘉:電学論A 134 2 (2014).
  • 真壁利明:プラズマエレクトロニクス(培風館,1999).
  • 橘邦英他:マイクロプラズマ-基礎と応用-(オーム社,2009).
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