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J-GLOBAL ID：201702250694948147   整理番号：17A0547872

AlN/β-Ga₂O₃複合材料構造特性に及ぼす窒化の影響

Effect of Nitridation on Properties of AlN/β-Ga₂O₃ Composite Structures

著者 (5件)： RAVIKIRAN Lingaparthi (National Inst. of Information and Communications Technol.) ,  NAKATA Yoshiaki (National Inst. of Information and Communications Technol.) ,  KURAMATA Akito (Tamura Corp.) ,  YAMAKOSHI Shigenobu (Tamura Corp.) ,  HIGASHIWAKI Masataka (National Inst. of Information and Communications Technol.)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.14p-502-7  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *二次元電子ガス ,  *複合材料 ,  *窒化 ,  窒化アルミニウム ,  酸化ガリウム ,  原子間力顕微鏡 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  素子構造 ,  容量電圧特性 ,  ヘテロ接合 ,  MBE成長 ,  MOS構造 ,  表面形態 ,  *改変 ,  構造
準シソーラス用語： 表面モルフォロジー

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： AlN ,  β-Ga2O3 ,  複合材料 ,  構造特性 ,  窒化