文献

J-GLOBAL ID：201702251509822942   整理番号：17A0226241

ディレクティング・マテリアル:原子スケールの3Dナノ加工に向けて

Directing Matter: Toward Atomic-Scale 3D Nanofabrication

著者 (12件)： JESSE Stephen (Oak Ridge National Lab., Tennessee, USA) ,  BORISEVICH Albina Y. (Oak Ridge National Lab., Tennessee, USA) ,  FOWLKES Jason D. (Oak Ridge National Lab., Tennessee, USA) ,  FOWLKES Jason D. (Univ. Tennessee, Tennessee, USA) ,  LUPINI Andrew R. (Oak Ridge National Lab., Tennessee, USA) ,  RACK Philip D. (Oak Ridge National Lab., Tennessee, USA) ,  RACK Philip D. (Univ. Tennessee, Tennessee, USA) ,  UNOCIC Raymond R. (Oak Ridge National Lab., Tennessee, USA) ,  SUMPTER Bobby G. (Oak Ridge National Lab., Tennessee, USA) ,  KALININ Sergei V. (Oak Ridge National Lab., Tennessee, USA) ,  BELIANINOV Alex (Oak Ridge National Lab., Tennessee, USA) ,  OVCHINNIKOVA Olga S. (Oak Ridge National Lab., Tennessee, USA)
資料名： ACS Nano  (ACS Nano)
巻： 10  号： 6  ページ： 5600-5618  発行年： 2016年06月 
JST資料番号： W2326A  ISSN： 1936-0851  CODEN： ANCAC3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 人間文明の発達は,漸進的に微細なスケールで物質を形づくり,パターニングすることと不可分に関連している。改造された天然材料に基づいた原始的な新石器工具から始まり,ブロンズと鉄の時代に先駆けた金属の成形,鋳造,鍛造,さらには,最新のナノファブリケーションと半導体チップに至るまで,すべてが工具や装置の進化に足跡を残すものであり,種としての人類の成長を促進した。本レビューでは,電子ビームとイオンビームに基づく3次元構造の原子的に正確な製造のための代替経路を提示し,要約した。本研究は,ガスおよび液体前駆体を用いた電子およびイオンビーム支援堆積,結晶質酸化物の原子的に正確なバルク彫刻,および電子ビームによる原子レベル物質の操作を含む,いくつかの統合されたトピックをカバーした。このレビューでは,固相および固液界面における高度に局在化した化学反応,原子層精度による非晶質から結晶相への変換,および結晶内の特定の単一ドーパント原子の動きを誘起するための集束電子ビームおよびイオンビームの使用を説明するこれにより,材料およびデバイスの原子的に正確な方向付けされたアセンブリの基礎が築かれた。電子ビーム誘起堆積は,約40nmのフィーチャサイズを有する自立型3D構造の構築を可能にした。本研究は,これらの構造の純度を改善し,この方法が適合する材料の範囲を拡大することに焦点を当てた。

シソーラス用語： *長さ ,  *加工 ,  *ナノメータ加工 ,  *イオンビーム蒸着 ,  形態 ,  *原子スケール ,  三次元形状
準シソーラス用語： *3D加工 ,  イオンビーム支援堆積 ,  3D形状

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 原子スケール ,  3D ,  ナノ加工