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J-GLOBAL ID：201702251626872748   整理番号：17A0368644

修飾6-PSS並列機構に基づいた光学素子のためのモノリシック調整機構【Powered by NICT】

A monolithic adjusting mechanism for optical element based on modified 6-PSS parallel mechanism

著者 (4件)： Guo Kang (Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Science, Changchun 130033, People’s Republic of China) ,  Ni Mingyang (Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Science, Changchun 130033, People’s Republic of China) ,  Chen Huanan (Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Science, Changchun 130033, People’s Republic of China) ,  Sui Yongxin (Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Science, Changchun 130033, People’s Republic of China)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 251  ページ： 1-9  発行年： 2016年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロメータ脳卒中,ナノメータ精度,高負荷容量とコンパクトな構造を持つ調整機構は,深紫外リソグラフィー対物レンズが必要である。はこれらの必要条件を満たすadvisablyにPSS(プリズム球状球状)パラレルメカニズムに基づくモノリシック調整機構を提案した。PSS並列機構の六プリズム状継手は三,信頼性を改善し,調整機構のコストを低減するに最適化した。モノリシック構成を実現するために,薄いフィレットたわみヒンジはPSSパラレルメカニズムの球面継手として働くことを提案した。これはアラインメントプロセスを単純化し,機械的精度を改善した。位置関係と透過比を含む構造解析は調整機構の一次構造寸法を決定するための基礎を提供するため行った。検証試験結果は透過率の数値結果は実験結果と一致することを示した。調整機構の軸ストロークが74.4μmで,正確度は40nm以内であり,調整プロセス中の光学素子の表面形状変化は1.5%以下であり,これはリソグラフィー対物レンズの運転要求を満足し,マイクロ-ナノの応用における他の物体を作動させる明るい見通しを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 構造解析 ,  負荷容量 ,  簡素化 ,  必要条件 ,  マイクロメータ ,  最適化 ,  リソグラフィー ,  プリズム ,  透過率 ,  対物レンズ ,  パラレルリンク機構 ,  球面 ,  *光学素子
準シソーラス用語： 表面形状 ,  深紫外線 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 調整機構 ,  光学素子 ,  並列機構 ,  モノリシック配置 ,  6-PSS

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 修飾 ,  PSS ,  光学素子