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J-GLOBAL ID：201702253134778244   整理番号：17A0748324

サイズ選択クラスタイオンを用いた真空エレクトロスプレイ液滴衝撃(V EDI)によるポリイミドのスパッタリング特性【Powered by NICT】

Sputtering properties for polyimide by vacuum electrospray droplet impact (V-EDI) using size-selected cluster ions

著者 (3件)： Sakai Yuji (Clean Energy Research Center, University of Yamanashi, 4-3-11Takeda, Kofu, Yamanashi, 400-8511, Japan) ,  Ninomiya Satoshi (Interdisciplinary Graduate School, University of Yamanashi, 4-3-11Takeda, Kofu, Yamanashi, 400-8511, Japan) ,  Hiraoka Kenzo (Clean Energy Research Center, University of Yamanashi, 4-3-11Takeda, Kofu, Yamanashi, 400-8511, Japan)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 49  号： 2  ページ： 127-132  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,真空エレクトロスプレイ液滴衝撃(V EDI)は著者らの研究室におけるクラスタイオンビーム源として開発した。イオン源のイオンビーム安定性とコンパクトな設計を達成するために,15μm内径シリカナノ毛細管はビームのエミッタとして用いた。は20%エタノールの水溶液を使用した場合,レーザ加熱を使用しないキャピラリー先端から発生した安定なエレクトロスプレイことが分かった。エレクトロスプレイ液滴のm/z分布は,一次ビームのパルスで測定した。荷電液滴Rayleigh限界方程式によって定義される過剰電荷の50%を含むと仮定して,平均質量,現在V EDIにより発生させた液滴の電荷は2.5×10~8Uと電荷として,それぞれ,すなわち[(H_2O)14,000,000H]~625+であった。一次クラスタビームをチョッピングにより,より小さなm/zクラスタ(グループ1:G1,[(H_2O)46,000H]~36+)とより大きなm/zクラスタのもの(グループ2:G2,[(H_2O)560,000H]~125+)からなるクラスタを生成した。X線光電子分光法(XPS)及び原子間力顕微鏡(A FM)によるポリイミド(PI)膜の表面分析はG1,G2,及び非選択クラスタビームを用いて行った。G1,G2,及び非選択ビームを用いた場合,選択的エッチングは観察されなかった。しかし,小型クラスタビームを用いた場合,大きな表面粗さが観察された。これは大きいサイズのクラスタはより小さなもので生じた表面損傷を治すことが示唆された。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,  水溶液 ,  クラスタビーム ,  イオン源 ,  *クラスタイオン ,  表面分析 ,  *ポリイミド ,  X線光電子スペクトル ,  *クラスタ ,  イオンビーム ,  *液滴 ,  エッチング ,  *スパッタリング ,  X線光電子分光法 ,  *衝撃
準シソーラス用語： *エレクトロスプレイ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： エレクトロスプレイ液滴衝撃 ,  サイズ選択クラスタイオン ,  ポリイミド

分類 (1件)： 質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (9件)： サイズ ,  クラスタイオン ,  真空 ,  エレクトロスプレイ ,  液滴 ,  衝撃 ,  EDI ,  ポリイミド ,  スパッタリング