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J-GLOBAL ID:201702253287920425   整理番号:17A0733809

ESDストレス下でのNウェル拡散抵抗の潜在的損傷【JST・京大機械翻訳】

Latent damage in n-well diffused resistor under ESD stress
著者 (3件):
資料名:
巻: 28  号:ページ: 20-23  発行年: 2009年 
JST資料番号: C2506A  ISSN: 1001-2028  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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抵抗は静電放電(ELECTROSTATIC DISCHARGE,ESD)保護回路において、隔離と分圧の役割を果たす。本論文では,100NSのパルス幅の下で,伝送(LINE LINE PULSING,TLP)試験システムを用いて,ESD応力下のN型拡散抵抗の動作特性を研究した。結果によると、N型の拡散抵抗は初回の瞬態撃穿(瞬態撃の電圧が79.0V、瞬態撃の電流が1.97A)を発生した後、陽極のN~+-N構造が破壊されるため、内部構造はすでに潜在的な損傷が現れ、隔離と分圧の作用がない。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
著者キーワード (3件):
分類 (2件):
分類
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プラズマ応用  ,  プラズマ装置 
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