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J-GLOBAL ID：201702253446905597   整理番号：17A0073811

新しい二酸化ケイ素-薄膜薄膜共振器の構造とそのシミュレーションを検証した。【JST・京大機械翻訳】

Novel carbon-doped oxide-FBAR structure and its simulation verification

著者 (3件)： Zhao Junwu (School of Information Engineering,Southwest University of Science and Technology, State Key Laboratory of Particle Detection and Electronics) ,  Gao Yang (Institute of Electronic Engineering, CAEP, State Key Laboratory of Particle Detection and Electronics) ,  Lei Qiang (School of Information Engineering,Southwest University of Science and Technology)
資料名： Qiangjiguang yu Lizishu  (Qiangjiguang yu Lizishu)
巻： 28  号： 10  ページ： 104101-1-104101-5  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2482A  ISSN： 1001-4322  CODEN： QYLIEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 一定の厚さの音響インピーダンス支持層は,薄膜の音響共振器(FBAR)と基板の間に音響隔離層を形成することができ,音波が基板に漏洩することを防止する。二酸化炭素(CDO)は一種の音響インピーダンス材料であり、FBARに対して良好な温度補償効果があり、FBARと基板間の音響隔離層として、新型のCDO-FBARを構成することができる。CDO-FBARと通孔型 FBARの性能が劣化するかどうかを分析するために,CDO-FBARと通孔型の共振周波数,Q値,有効電気機械結合係数,およびSパラメータを,物理ソフトウェアによって分析した。そして,CDO-FBARの縦方向振動変位を抽出した。分析結果は以下を示す。CDO-FBARの共振周波数は全体的に下方にシフトした。CDOの音響隔離層はSパラメータの寄生干渉を引き起こす。音響損失の増加により,Q値はわずかに減少し,その中で,LianXieのQ値は減少した。有効電気機械結合係数はわずかに減少した。音響波が音響隔離層中に伝播すると、9ΜMで完全に減衰し、即ち、9ΜM厚のCDOの音響隔離層だけがFBARと基板の間に有効な音響隔離を形成することができる。これにより,この新しいCDO-FBAR構造の実現可能性を検証した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 穴型 ,  音響共振器 ,  共振器 ,  共振周波数 ,  二酸化炭素 ,  音響インピーダンス ,  Q値 ,  音響 ,  *二酸化ケイ素 ,  温度補償 ,  薄膜
準シソーラス用語： Sパラメータ ,  電気機械結合係数 ,  隔離 ,  FBAR , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： acoustic impedance ,  carbon-doped oxide ,  oxide-film bulk acoustic resonator ,  acoustic isolation layer

分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 二酸化ケイ素 ,  薄膜 ,  共振器 ,  シミュレーション ,  検証