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J-GLOBAL ID：201702254375154069   整理番号：17A0791614

パルス強化真空アーク蒸着中の陰極群スポットのイメージングと運動【Powered by NICT】

Imaging and motion of cathode group spots during pulse-enhanced vacuum arc evaporation

著者 (4件)： Ma Yinghe (State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, 150001 Harbin, China) ,  Gong Chunzhi (State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, 150001 Harbin, China) ,  Tian Xiubo (State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, 150001 Harbin, China) ,  Chu Paul K. (Department of Physics & Materials Science, City University of Hong Kong, Tat Chee Avenue, Kowloon, Hong Kong)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 139  ページ： 37-43  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アーク源のパルスと直流動作を組み合わせたパルスに増強され真空アーク蒸着(PEVAE)を,陰極アーク蒸発技術の新しいアプローチである。1つの潜在的利点は,ターゲット上に新しい経路に沿ったアークを偏向し,のみ優先地域における移動からそれを防止することである。本研究では,カソード群スポット(GS)は曝露時間100μsと25msの高速ディジタルカメラを用いて撮影し,速度と分布を含むGSの運動に及ぼすパルス電流と窒素圧の影響を調べた。実験結果は,二種類のGSのを明らかにした。100Aの伝統的なDCアーク電流に関しては,GSは互いに近いいくつかの断片とPEVAEの構成され,GSはほぼ円形膨張リングにおける組織化する傾向がある。実験結果の準定量的解析方法については,高いパルスアーク電流により自然に生じた横方向磁場はGS運動軌跡を曲げ,拡張可能であることを示した。もGSの高い膨張速度に貢献できる電子放出に及ぼす高パルス電流の増強効果に関連する可能性がある。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 窒素 ,  *アーク放電 ,  高速度 ,  *パルス ,  直流 ,  電子放出 ,  定量的分析 ,  蒸発 ,  *真空アーク ,  *画像処理 ,  磁場
準シソーラス用語： アーク電流 ,  パルス電流 ,  ディジタルカメラ ,  *アークイオンプレーティング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： パルス増強された真空アーク ,  カソード基スポット ,  パルス電流 ,  窒素圧

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (7件)： パルス ,  強化 ,  真空アーク蒸着 ,  陰極 ,  スポット ,  イメージング ,  運動