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J-GLOBAL ID：201702255267711848   整理番号：17A0329058

高温endurable気密封止材料選択と信頼性比較赤外ガスセンサモジュールの実装【Powered by NICT】

High temperature endurable hermetic sealing material selection and reliability comparison for IR gas sensor module packaging

著者 (6件)： Au K. Y. (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), 2 Fusionopolis Way, #08-02 Innovis Tower, Singapore 138634) ,  Zhi Ding Mian (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), 2 Fusionopolis Way, #08-02 Innovis Tower, Singapore 138634) ,  Chidambaram Vivek (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), 2 Fusionopolis Way, #08-02 Innovis Tower, Singapore 138634) ,  Lin Bu (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), 2 Fusionopolis Way, #08-02 Innovis Tower, Singapore 138634) ,  Piotr Kropelnicki (Excelitas Technologies Singapore, Pte. Ltd) ,  KaiLiang Chuan (Excelitas Technologies Singapore, Pte. Ltd)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： EPTC  ページ： 1-5  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 赤外(IR)センサモジュール有害ガス漏れ検出のための展開は沖合石油及びガスプラットフォーム資産健全性を提供し,維持し,事故災害を回避し,石油生産に関与する危険性に関連したリスクを緩和するによる運用リスク管理を改善するために重要である。これらセンサモジュールは,過酷な環境下でのロバストなままでなければならない。適合障壁メタライゼーション[1 2]でロバストなハーメチックシール材料を有する材料(BOM)の新しい高温相互接続材料費を設計して,さらなるセンサ信頼性を高めた。高周囲温度[3 4]でBOM酸化劣化を低減することにより,センサの信頼性は維持された。この研究のために,TV(試験車両,図1)は,すべての活性成分をとIRフィルタとして作用することをシリコン(Si)金型を密封したアルミナ(Al_2O_3)基板ケーシングから構成されている。レーザとシーム溶接はハーメチックシールを行う一般的な方法であるが,それらは低スループット問題に悩まされている。種々のハーメチックシール工法・資材調査ベンチマークを詳細に検討し,ケイ素(Si)界面シールへのアルミナ(Al_2O_3)を標的とするであろう。両シール表面メタライゼーションを持っていない。高温低ガス放出接着剤,ガラスフリットペーストとセラミックペーストのような材料は,調剤またはスクリーン印刷法によるTVに適用されるであろうとシール界面のそれらの対応する気密性能を検討する。シリコンフィルタの大きさは3.7×3.7mmであり,3.8×3.8mmセラミック基板ケーシングにマウントされる予定である。信頼性評価を行った後にテレビ気密性分解応答(10~ 9cc/sec漏れ速度を必要とするMIL STD883J法1014.14塩基)を検討したが,これは熱サイクル(TC, 55°Cで250°C,500サイクル),及び,高温保存(HTS,250°C,500時間)を含む。本論文の目的は,様々なベンチマークシーリング材の高温信頼性性能を報告し,250°CでHTSとTC試験後の劣化機構と気密性応答(MIL-漏れ試験による)文書を理解することであるCopyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 相互接続 ,  リスク管理 ,  気密性 ,  アルミナ ,  熱サイクル ,  スループット ,  ロバスト性 ,  密封装置 ,  健全性 ,  *高温 ,  メタライゼーション ,  ガス放出 ,  界面 ,  *ハーメチックシール ,  ベンチマーク

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  制御機器一般  (IC02010N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 気密封止 ,  材料選択 ,  赤外 ,  ガスセンサ ,  モジュール ,  実装