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J-GLOBAL ID：201702255298534375   整理番号：17A0057161

MEMSスイッチのためのマルチフィジックス場のシミュレーションからの集中構造パラメータの抽出【Powered by NICT】

Extraction of lumped structural parameters from multiphysics field simulations for MEMS switches

著者 (6件)： Lup Aurel Sorin (Politehnica University of Bucharest, Spl. Independentei 313, 060052, Romania) ,  Ciuprina Gabriela (Politehnica University of Bucharest, Spl. Independentei 313, 060052, Romania) ,  Sorohan Stefan (Politehnica University of Bucharest, Spl. Independentei 313, 060052, Romania) ,  Isvoranu Dragos (Politehnica University of Bucharest, Spl. Independentei 313, 060052, Romania) ,  Boldeiu George (National Institute for Research and Development in Microtechnologies, 126A Erou Iancu Nicolae, 077190, Bucharest, Romania) ,  Stefanescu Alexandra (National Institute for Research and Development in Microtechnologies, 126A Erou Iancu Nicolae, 077190, Bucharest, Romania)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： ISFEE  ページ： 1-6  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： RF MEMSスイッチのための集中パラメータ(弾性係数と有効質量)の抽出を調べた。抽出は有限要素法で得られた場シミュレーション,強く結合した構造の静電場問題を解決するから始まり,最小二乗あてはめに基づいている。弾性係数は静的結合シミュレーションから抽出したが,有効質量は動的,減衰のない,非強制,過渡シミュレーションから抽出した。システム非線形性の程度は静的シミュレーションから推定できる。システムはその構造挙動に関して直線性に近いならば,有効質量を抽出する簡単なアルゴリズムを提案した。検証は減次モデルから得られた結果と初期場結果を比較することによって行った。8%以下の相対誤差は,調べた全ての構造のプルイン電圧が得られた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 非線形性 ,  弾性係数 ,  静電場 ,  *構造パラメータ ,  有効質量 ,  最小二乗法 ,  *スイッチ ,  線形性 ,  有限要素法 ,  *シミュレーション
準シソーラス用語： プルイン電圧 ,  減次モデル ,  RF MEMS ,  *マルチフィジックス ,  *MEMSスイッチ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMSスイッチ ,  マルチフィジックス ,  シミュレーション ,  構造パラメータ