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J-GLOBAL ID：201702256165990828   整理番号：17A0356091

高回転精度微小柱状電極の電気化学的加工モデルと試験【JST・京大機械翻訳】

Model and experimental on fabrication of cylindrical micro electrode with high rotation accuracy by electrochemical machining

著者 (5件)： Li Minghong (Associated Engineering Research Center of Mechanics & Mechatronic Equipment, Shandong University) ,  Liu Yong (Associated Engineering Research Center of Mechanics & Mechatronic Equipment, Shandong University, Key Laboratory of High Efficiency and Clean Mechanical Manufacture, Ministry of Education) ,  Guo Chunsheng (Associated Engineering Research Center of Mechanics & Mechatronic Equipment, Shandong University) ,  Wang Mingyu (Key Laboratory of High Efficiency and Clean Mechanical Manufacture, Ministry of Education, Shandong University) ,  Niu Jingran (Associated Engineering Research Center of Mechanics & Mechatronic Equipment, Shandong University)
資料名： Hangkong Xuebao  (Hangkong Xuebao)
巻： 37  号： 12  ページ： 3864-3872  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1470A  ISSN： 1000-6893  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 高精度と高精度の微小電極を実現するために,微小電極の電気化学的エッチングプロセスを深く研究し改良した。まず第一に,電気化学エッチングの原理に従って,電極回転に及ぼす電極回転の影響を分析し,電極回転が電極の回転精度を向上させることができることを証明した。第二に,実験的帰納に基づいて,加工電圧,深さと電極回転速度の間の関数関係を確立して,高精度回転電極のための数学的モデルを確立した。最終的に,上記のモデルの指導の下で,最適化された加工パラメータの組合せを選択して,一連の直径が100ΜMであり,軸方向の誤差が1ΜM未満である円柱状電極を得ることができた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 数学モデル ,  微小電極 ,  電圧 ,  最適化 ,  *電気化学 ,  回転数 ,  *電解加工 ,  回転電極 ,  軸方向 ,  帰納推論
準シソーラス用語： 加工パラメータ ,  電気化学エッチング ,  高精度 ,  *回転精度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： high rotation accuracy ,  cylindrical micro electrode ,  electrochemical etching ,  rotation of electrode ,  mathematical model

分類 (2件)： 電気化学反応  (CB07050F) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 回転精度 ,  微小柱 ,  電気化学的加工 ,  モデル ,  試験