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J-GLOBAL ID：201702257630824787   整理番号：17A0470295

硬質皮膜の硬度とスパッタリング速度の関係に焦点を当てた二次イオン質量分析による実験的研究【Powered by NICT】

Experimental study by Secondary Ion Mass Spectrometry focused on the relationship between hardness and sputtering rate in hard coatings

著者 (7件)： Onorati E. (Fondazione Bruno Kessler, Center for Materials and Microsystems, via Sommarive 18, 38122 Trento, Italy) ,  Onorati E. (University of Trento, Department of Industrial Engineering, via Sommarive 9, 38122 Trento, Italy) ,  Iacob E. (Fondazione Bruno Kessler, Center for Materials and Microsystems, via Sommarive 18, 38122 Trento, Italy) ,  Bartali R. (Fondazione Bruno Kessler, Center for Materials and Microsystems, via Sommarive 18, 38122 Trento, Italy) ,  Barozzi M. (Fondazione Bruno Kessler, Center for Materials and Microsystems, via Sommarive 18, 38122 Trento, Italy) ,  Gennaro S. (Duralar Technologies Japan, 147-40 Masuragahara, Omura-City, Nagasaki 856-0022, Japan) ,  Bersani M. (Fondazione Bruno Kessler, Center for Materials and Microsystems, via Sommarive 18, 38122 Trento, Italy)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 625  ページ： 35-41  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 硬度は材料の特性化における重要な特性である,特にミクロおよびサブミクロン機能性コーティング技術に関する。硬度定義は塑性変形に対する材料の抵抗として引用されている。与えられた材料の硬度値を評価するために異なる方法が利用でき,適用された力に応じてマクロ,ミクロまたはナノスケールとして定義できると変位を得た。ナノ硬度測定は機能性薄膜被覆特性に不可欠であった。本研究では,相補的方法を用いて被覆硬さを評価する可能性を試験した:二次イオン質量分析(SIMS)装置によるイオンビームスパッタリング。本アプローチは,二つの明白な利点:SIMS測定によって提供された基板と付加的な組成的構造的情報からの測定値の独立性を有していた。このアプローチの適用性を実験的に数種硬質被覆膜(ZrN,TiN,TiAlCN等)で試験して,ダイヤモンド状(DLC)カーボン材料を含めている。いくつかの初期の結果は,硬さとスパッタ速度の間の直接の関係を見出し,以前の研究と良い一致を指摘する可能性を指摘した。それにもかかわらず,詳細な試験は,DLC被覆に明白な問題を示した。この場合イオンビームスパッタ速度と硬さの依存性は他の実験データに適合させるために明らかであり,離れた位置にある。著者らの仮説では,この効果はDLC材料に及ぼす硬さの異なる性質に関係している。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *硬度 ,  適応性 ,  *スパッタリング ,  *硬質 ,  塑性変形 ,  *二次イオン ,  イオンビームスパッタリング ,  キャラクタリゼーション ,  ダイヤモンド
準シソーラス用語： DLC被覆 ,  機能性薄膜 ,  ナノ硬さ ,  ナノスケール ,  機能性 ,  *硬質皮膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： スパッタリング速度 ,  二次イオン質量スペクトロスコピー ,  ナノインデンテーション ,  ダイヤモンド状炭素 ,  原子間力顕微鏡観察

分類 (5件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  スパッタリング  (BK16110U) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 硬質皮膜 ,  硬度 ,  スパッタリング ,  焦点 ,  二次イオン質量分析 ,  実験的研究