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J-GLOBAL ID：201702258584737549   整理番号：17A0388237

電気化学micro/nano加工:原理と実際【Powered by NICT】

Electrochemical micro/nano-machining: principles and practices

著者 (6件)： Zhan Dongping (State Key Laboratory of Physical Chemistry of Solid Surfaces (PCOSS), Collaborative Innovation Centre of Chemistry for Energy Materials (iChEM), and Department of Chemistry, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China. [e-mail] zqtian@xm...) ,  Han Lianhuan ,  Zhang Jie ,  He Quanfeng ,  Tian Zhao-Wu ,  Tian Zhong-Qun
資料名： Chemical Society Reviews  (Chemical Society Reviews)
巻： 46  号： 5  ページ： 1526-1544  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0479B  ISSN： 0306-0012  CODEN： CSRVBR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ/ナノ加工(MNM)は超大規模集積回路,微小電気機械システム,小型化全分析システム,精密光学部品などの超平滑表面と機能性三次元マイクロ/ナノ構造(3D MNS)のための産業界の需要が増えることのために,ハイテク製造の最先端になっている。工具摩耗,表面応力,環境への優しさ,簡単な操作,及び低コストの利点を考慮した,電気化学的マイクロ/ナノマシニング(EC MNM)はMNMにおいて極めて重要な役割を持っている。この包括的なレビューは直接描画,表面平坦化と研磨,3D MNS作製のためのEC MNM法の最新技術を紹介した。EC MNMの重要な点は,micro/nanoメートルスケールでの電気化学反応を制限することである。本レビューでは,関連した応用への技術的特性を通した電気化学原理の範囲の「閉じ込められた反応」のための種々のソリューションをもたらすであろう。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電気化学反応 ,  小型化 ,  三次元 ,  ナノメータ加工 ,  工具摩耗 ,  ナノ構造 ,  超LSI ,  表面応力 ,  MEMS ,  滑面 ,  *電気化学
準シソーラス用語： 平坦化 ,  直接描画 ,  ナノマシニング ,  光学部品 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 電気化学反応  (CB07050F) ,  有機化合物・錯体の磁気光学・電気光学スペクトル(分子)  (BH06082E) ,  分子の立体配置・配座  (BH05022J)

タイトルに関連する用語 (2件)： 電気化学 ,  原理