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J-GLOBAL ID：201702259136918931   整理番号：17A0403567

新規で容易な合成経路によるナノ構造TiN基薄膜【Powered by NICT】

Nanostructured TiN-based thin films by a novel and facile synthetic route

著者 (9件)： Zheng Jianyun (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China) ,  Zheng Jianyun (Qingdao Center of Resource Chemistry and New Materials, Qingdao 266000, China) ,  Lv Yanhong (ReaLeader Advanced Materials Technology Ltd., Qingdao 266000, China) ,  Xu Shusheng (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China) ,  Han Xi (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China) ,  Han Xi (Graduate School of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Zhang Shuaituo (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China) ,  Hao Junying (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China) ,  Liu Weimin (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China)
資料名： Materials & Design  (Materials & Design)
巻： 113  ページ： 142-148  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0495B  ISSN： 0264-1275  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 優れたユニークな性質のために,ナノ構造薄膜の増大し続ける要求を満たすための簡単,低コストで環境に優しい技術を開発することは非常に興味がある。ここでは,ナノ構造TiN基薄膜をマグネトロンスパッタリング技術と低温プラズマ窒化処理を適用することにより,新規で容易な合成経路を検討した。報告された方法は,その場でナノ構造を修飾するための他の方法に伴う間隙率と形状ナノ構造と適合性の制御を組み合わせた。ナノ構造TiN系薄膜をピラーネット(またはきょく毛)から形態進化に対応して疎水性から高比表面積(768.2m~2g~( 1)),高い透過率と可変濡れ性を示した親水性であった。添加では,非晶質フープCHおよびナノ構造TiNを含むハイブリッド膜は,フレキシブル,超硬および潤滑剤効果を統合することに成功した。合成は多様な分野での適用ナノ構造薄膜の大規模生産のための有望な経路を提示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 比表面積 ,  空隙率 ,  *ナノ構造 ,  透過率 ,  マグネトロンスパッタリング ,  適応性 ,  *薄膜 ,  濡れ ,  窒化 ,  疎水性 ,  親水性
準シソーラス用語： ハイブリッド膜 ,  低温プラズマ ,  *窒化チタン ,  *合成経路 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ナノ構造薄膜 ,  TiN系 ,  高比表面積 ,  透明および疎水性 ,  フレキシブルで超硬

分類 (6件)： 機械的性質  (YH02022L) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  機械的性質  (WB02030U) ,  強化プラスチックの成形  (YH04060J) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 合成経路 ,  ナノ構造 ,  TiN ,  薄膜