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J-GLOBAL ID：201702259910564535   整理番号：17A0407625

超薄TiO_2~-Cr_2O_3ナノ複合膜の成長と特性評価【Powered by NICT】

Growth and characterization of ultrathin TiO₂-Cr₂O₃ nanocomposite films

著者 (4件)： Dutta Shankar (Solid State Physics Laboratory, DRDO, Lucknow Road, Timarpur, Delhi, 110054, India) ,  Pandey Akhilesh (Solid State Physics Laboratory, DRDO, Lucknow Road, Timarpur, Delhi, 110054, India) ,  Leeladhar (Solid State Physics Laboratory, DRDO, Lucknow Road, Timarpur, Delhi, 110054, India) ,  Jain K.K. (Solid State Physics Laboratory, DRDO, Lucknow Road, Timarpur, Delhi, 110054, India)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 696  ページ： 376-381  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,ガスセンサ応用のためのスパッタリング法によるTiO_2~-Cr_2O_3ナノ複合材料超薄膜(~30nm厚)の成長を示した。堆積した膜はルチルTiO_2とエスコライトCr_2O_3相を成長させるためにアニールした。元Cr_2O_3とTiO_2膜(45 50 nm)の粒径はナノ複合材料(TiO_2における7.1 69.5%Cr_2O_3)膜(15 40 nm)に比べて大きいことが分かった。元TiO_2膜220cm~ 1(B_1g),435cm~ 1(Eg)と610cm~ 1(A_1g)でピークを示したのRamanスペクトルはTiO_2のルチル相に起因していた。元エスコライトCr_2O_3層は300cm~ 1,350cm~ 1と520cm~ 1および620cm~ 1で四Egピークとともに551cm~ 1(A_1gモード)に特徴的な強いピークを示した。A_1gモード(Cr_2O_3)とEgモード(TiO_2)のピーク位置は,その特徴的なピークの位置から赤方偏移することが分かった;シフトはCr_2O_3とTiO_2相の相互混合のために検出されなかった。A_1gモードのFWHMは9cm~ 1(純粋Cr_2O_3)から13cm~ 1に増加することが判明した(26.1%Cr_2O_3)Egモードは48cm~ 1(純粋TiO_2)から増加したルチルとエスコライト相間の80cm~ 1(46.9%Cr_2O_3)によるナノ複合材料の形成であることが分かった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： FWHM ,  超薄膜 ,  X線回折 ,  Ramanスペクトル ,  ガスセンサ ,  ルチル ,  赤方偏移 ,  スパッタリング ,  ナノ複合材料 ,  薄膜 ,  粒径 ,  *キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： 相互混合 ,  三相 ,  *ナノ複合膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 酸化物材料 ,  蒸着 ,  薄膜 ,  X線回折 ,  光分光法

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  光化学一般  (CB08010U)

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノ複合膜 ,  成長 ,  特性評価