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J-GLOBAL ID：201702260088912339   整理番号：17A0077551

LTCC技術に基づくマイクロFAIMS バイオガスセンサの調製【JST・京大機械翻訳】

Preparation of Micro FAIMS Biochemical Gas Sensor Based on LTCC Technology

著者 (6件)： Wang Taolong (Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement Ministry of Education Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory,North University of China) ,  Liang Ting (Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement Ministry of Education Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory,North University of China) ,  Wang Xinxin (Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement Ministry of Education Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory,North University of China) ,  Zhang Rui (Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement Ministry of Education Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory,North University of China) ,  Liu Yutao (Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement Ministry of Education Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory,North University of China) ,  Xiong Jijun (Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement Ministry of Education Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory,North University of China)
資料名： Yibiao Jishu yu Chuanganqi  (Yibiao Jishu yu Chuanganqi)
号： 3  ページ： 7-9,37  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2449A  ISSN： 1002-1841  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： セラミックは安定な電気特性,機械的ロバスト性,化学的不活性,および超塑性の可塑性を持つため,広く応用されている。低温共焼セラミック(LTCC)プロセスと新しい遮蔽電極の設計を用いて,バイオガスセンサの調製を実現した。ガスセンサは高磁場非対称波形イオン移動スペクトル(FAIMS)の原理を採用し、スクリーン印刷技術を用いて、移動電極、遮蔽電極、試験電極などの機能デバイスの配置を実現し、しかも気流通路に炭素膜(印刷TanJiang料)を埋め込むことにより、積層中の気流通路の崩壊を有効に防止した。この方法は,気流経路の上下の板の平坦性を保証し,センサの機能精度を効果的に保証し,デバイス間のカプセル化とリード線の漏れを回避し,バイオガスセンサの安定化のための基礎を築く。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 塑性 ,  リード線 ,  *ガスセンサ ,  気流 ,  ロバスト性 ,  印刷 ,  強磁場 ,  平坦性 ,  スクリーン印刷 ,  非対称性 ,  セラミック ,  *センサ
準シソーラス用語： 積層 ,  炭素膜 ,  流路 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： LTCC ,  thick film technology ,  FAIMS ,  biochemical gas sensor ,  ion migration tube

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： LTCC ,  FAIMS ,  ガスセンサ ,  調製