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J-GLOBAL ID:201702260110236535   整理番号:17A0240638

7nmトライゲート組合せセルに及ぼす幾何学的変動の影響【Powered by NICT】

Geometric variability impact on 7nm Trigate combinational cells
著者 (4件):
資料名:
巻: 2016  号: ICECS  ページ: 9-12  発行年: 2016年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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マルチゲートデバイスは,サブ10nm技術の平面デバイスを置換する主要な候補である。全ての利点に加えて,不幸なことに,これらの過程は,3Dチャネル構造に起因する付加的な変動源をもたらす。本研究では,7nmでの組合せセルのセットの名目上の挙動に及ぼすトライゲートフィン形状変動の影響を調べた。結果は,幾何学的偏差の5%が電力と遅延に有意な影響を与えるが,10%以上の変化を評価回路の大部分の遅延とPDP予想される挙動に著しく影響することができることを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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トランジスタ 
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