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文献
J-GLOBAL ID:201702260454081221   整理番号:17A0576592

微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究-生成熱収支場による欠陥検出可能性の実験的検討-

著者 (4件):
資料名:
巻: 2017  号: 春季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.D13  発行年: 2017年03月01日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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マイクロメートルサイズの熱検知素子を,測定対象の平滑面に近接することで創成する微空間での熱収支変化を検知することで,平滑面上の微小欠陥の存在を検出する手法を提案している。本報では,熱検知素子と平滑面の間に生成した熱収支場による非接触での欠陥検出の可能性を,プロトタイプ熱検知素子を用いて実験的に検討した結果について報告する。(著者抄録)
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
格子欠陥一般  ,  その他の無機化合物の格子欠陥 

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