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J-GLOBAL ID：201702260685368280   整理番号：17A0391848

小特徴サイズ連続相補間法の誤差解析【JST・京大機械翻訳】

Error analysis of ion beam figuring for fabrication of continuous phase plates with small feature structures

著者 (4件)： Xu Mingjin (College of Mechatronics Engineering and Automation,Hu’nan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology,National University of Defense Technology) ,  Dai Yifan (College of Mechatronics Engineering and Automation,Hu’nan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology,National University of Defense Technology) ,  Xie Xuhui (College of Mechatronics Engineering and Automation,Hu’nan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology,National University of Defense Technology) ,  Zhou Lin (College of Mechatronics Engineering and Automation,Hu’nan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology,National University of Defense Technology)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 24  号： 12  ページ： 2975-2982  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 小規模な連続的位相分布と大きな誤差勾配の表面特性によって,本論文は,走査ステップ,材料除去モード,位置決め精度,および材料除去法を含む,イオンの加工精度に影響を及ぼすいくつかの因子を分析した。サンプリング定理に従って,除去関数の走査ステップを決定することにより,異なるサイズの特徴単位を効果的に加工することができた。さらに,材料除去モードを最適化することにより,定常状態における滞留時間の定常運転を確保し,全周波数誤差の収束を達成した。また、表面形状マッチング法を用いて、測定誤差に対して校正実験を行い、正確な表面材料除去を得ることができる。一方,除去関数の位置決め精度を改善する方法は,小規模の特徴単位の加工精度を著しく向上させることができる。研究結果に基づき、各プロセスの誤差を除去した上で、イオンビーム成形技術を用い、特徴サイズが1.5MMまで、表面のピーク値が200NMより小さく、表面の勾配が1.8Μ10までの連続位相に対して、高精度加工を行った。加工表面と理論表面の間のマッチング精度は8.1NM(RMS)に達し,誤差解析の精度を実証した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 工作精度 ,  小規模 ,  位相 ,  滞留時間 ,  測定誤差 ,  標本化定理 ,  精密加工 ,  *内挿法 ,  最適化 ,  表面性状 ,  マッチング ,  *誤差解析 ,  ピーク値
準シソーラス用語： 位置決め精度 ,  材料除去 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Continuous Phase Plate(CPP) ,  ion beam figuring ,  error analysis ,  surface matching ,  positioning precision

分類 (9件)： フライス加工  (QC02030R) ,  分子構造と性質の実験的研究  (CB01020I) ,  スラッジ処理・処分  (SC05050K) ,  計測学一般  (AD01000Q) ,  移動通信  (ND08030H) ,  重合反応一般  (CG04010H) ,  統計学  (AB08000H) ,  資源回収利用  (SC05060V) ,  信号理論  (ND02020G)

タイトルに関連する用語 (3件)： サイズ ,  補間法 ,  誤差解析