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J-GLOBAL ID：201702260885901627   整理番号：17A0096399

射出成形型キャビティ表面アレイの微細構造のエッチング技術【JST・京大機械翻訳】

Etching Micromachining of Micro-structure Arrays on Injection Mold Cavity Surface

著者 (3件)： Huang Hongguang (Guangzhou Automoible Group Co.,Ltd.) ,  Guo Zhongning (Guangdong University of Technology) ,  Yang Quan (Guangzhou Automoible Group Co.,Ltd.)
資料名： Zhongguo Jixie Gongcheng  (Zhongguo Jixie Gongcheng)
巻： 27  号： 17  ページ： 2356-2360  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2243A  ISSN： 1004-132X  CODEN： ZJGOE8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 簡単なマスクを設計し,液の噴霧圧力を制御することにより,マイクロアレイの微細構造を研究した。研究によると、エッチング圧力は微細構造の加工形態に顕著な影響を及ぼし、エッチング深さとエッチング深さはエッチング圧力の増加とともに増大する。本論文では,複数回の加工と噴霧圧力を制御する技術を研究し,理想的な无Leng辺の構造と均一な構造を持つ深さ段階の構造を得た。最終的に,射出成形金型の表面上に,幅が約200ΜM,深さが約60ΜMの无Leng辺の角と,滑らかな平滑の微細構造を加工した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *微細構造 ,  *エッチング ,  噴霧 ,  *射出成形
準シソーラス用語： 射出成形金型 ,  マイクロアレイ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： chemical etching ,  rally surface micro-structure ,  etching depth ,  undercut ,  secondary etching

分類 (2件)： 射出成形  (YH04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 射出 ,  成形型キャビティ ,  アレイ ,  微細構造 ,  エッチング