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J-GLOBAL ID：201702261317400876   整理番号：17A0079718

ナノ厚みBaSnO₃/Cu/BaSnO₃多層薄膜の特性:基板温度の役割

Properties of nano-thick BaSnO3/Cu/BaSnO3 multilayer thin films: the role of substrate temperature

著者 (4件)： Wu Muying (School of Electronic Engineering, Dongguan University of Technology, Dongguan, Guangdong, China) ,  Yu Shihui (School of Electronic and Information Engineering, Tianjin University, Tianjin, China) ,  He Lin (School of Electronic Engineering, Dongguan University of Technology, Dongguan, Guangdong, China) ,  Yang Lei (School of Electronic Engineering, Dongguan University of Technology, Dongguan, Guangdong, China)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 27  号： 12  ページ： 12604-12609  発行年： 2016年12月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ厚みBaSnO₃/Cu/BaSnO₃多層薄膜を設計し,マグネトロンスパッタリングによってガラス上に作製した。多層薄膜中のBaSnO₃,Cu,BaSnO₃層の厚さを,それぞれ,50,10及び50nmとした。基板温度を変化させて,多層薄膜の構造,電気及び光学特性を調べた。250°C未満の温度で成長した多層薄膜では,可視波長範囲(400-800nm)の平均光透過率が増加する。多層薄膜の低抵抗率(<10^-4Ωcm)は,200°Cまで保持され,続いて,基板温度が300°Cまでさらに上昇すると急速に増加することが分る。付け加えると,基板温度に伴う電気及び光学特性の変化の機構を提案した。Copyright 2016 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化物 ,  薄膜 ,  *金属薄膜 ,  *多層 ,  バリウム化合物 ,  スズ化合物 ,  ナノ構造 ,  基板温度 ,  X線回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  光透過 ,  光吸収 ,  電気抵抗率 ,  キャリア密度 ,  温度依存性 ,  マグネトロンスパッタリング
準シソーラス用語： キャリア濃度

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 厚み ,  Cu ,  多層薄膜 ,  基板温度 ,  役割