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J-GLOBAL ID：201702261424602311   整理番号：17A0404128

RFマグネトロンスパッタリング法で成長させたSmCo_5薄膜の構造とナノ機械的性質に及ぼす熱処理の役割【Powered by NICT】

The role of heat treatment on the structural and nano-mechanical properties of SmCo₅ thin films grown by RF magnetron sputtering technique

著者 (5件)： Kuru M. (Ondokuz Mayis University, Department of Materials Science and Engineering, Samsun, Turkey) ,  Kuru M. (Erciyes University, Department of Materials Science and Engineering, Kayseri, Turkey) ,  Ozmetin A.E. (Texas A&M University, Materials Science and Engineering Department, College Station, TX, USA) ,  Ozmetin A. (Texas A&M University, Physics Department, College Station, TX, USA) ,  Sahin O. (Mustafa Kemal University, Science and Art Faculty Micro/Nano mechanic Characterization Lab., Hatay, Turkey)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 4  ページ： 3893-3899  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,RFマグネトロンスパッタリング法により作製された,SmCo_5薄膜の構造,形態,およびナノ機械的性質に及ぼすアニーリング温度の影響を調べた。セット1μm厚SmCo_5薄膜を室温でSi(100)基板上に成長させ,続いてアルゴン雰囲気中で400°C,500°C,600°C及び700°Cでアニールした。これらの膜が観察されSmCo_5膜に対応する(110)優先配向の六方晶CaCu_5構造を有していた。SmCo_5薄膜の構造形態とナノ機械的性質を,すれすれ角入射X線回折(GIXRD),原子間力顕微鏡(A FM),走査電子顕微鏡(SEM)およびナノインデンテーション法を用いて調べた。結果は,堆積したままのSmCo_5薄膜は多結晶構造を有することを示した。熱処理後,両結晶子と粒径は増加し,薄膜の結晶度は改善した。さらに,SmCo_5薄膜のナノ硬度と還元弾性率はBerkovichチップを用いて測定した。ナノ硬度および弾性係数は焼なまし温度の上昇と共に減少した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  すれすれ入射 ,  ナノインデンテーション ,  優先配向 ,  粒径 ,  *薄膜 ,  多結晶 ,  六方晶系 ,  結晶度 ,  原子間力顕微鏡 ,  *機械的性質
準シソーラス用語： 焼きなまし温度 ,  ナノ硬さ ,  アニーリング温度 ,  *RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： SmCo_5薄膜 ,  ナノインデンテーション ,  A FM ,  SEM ,  XRD

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  成長 ,  薄膜 ,  機械的性質 ,  熱処理 ,  役割