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J-GLOBAL ID：201702262556852444   整理番号：17A0118328

高性能ピエゾ抵抗低圧力センサ【Powered by NICT】

High performance piezoresistive low pressure sensors

著者 (4件)： Li L. (Amphenol NovaSensor, Fremont, CA, USA) ,  Belov N. (Amphenol NovaSensor, Fremont, CA, USA) ,  Klitzke M. (Amphenol NovaSensor, Fremont, CA, USA) ,  Park J-S. (Amphenol NovaSensor, Fremont, CA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高性能ピエゾ抵抗低圧力センサを開発した。MEMS金型は,高感度,優れた直線性,出力信号の低温度依存性と優れた環境安定性を示した。小ダイサイズは世界最小の包装した低圧センサ解を可能にした。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 線形性 ,  *センサ ,  MEMS ,  温度依存性 ,  高感度 ,  *低圧 ,  *圧力センサ
準シソーラス用語： 出力信号 ,  *圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 磁電デバイス  (NC03100X)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高性能 ,  ピエゾ抵抗 ,  低圧力