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J-GLOBAL ID：201702262762687359   整理番号：17A0329396

MetalMUMP製造プロセスにより開発されたMEMS装置の疲労試験【Powered by NICT】

Fatigue testing of MEMS device developed by MetalMUMPs fabrication process

著者 (5件)： Islam Syed Osama Bin (National University of Sciences and Technology, Islamabad, Pakistan) ,  Abbas Muhammad Zaeem (National University of Sciences and Technology, Islamabad, Pakistan) ,  Rehman Saad (National University of Sciences and Technology, Islamabad, Pakistan) ,  Khan Umar Shahbaz (National University of Sciences and Technology, Islamabad, Pakistan) ,  Saleem Muhammad Mubasher (National University of Sciences and Technology, Islamabad, Pakistan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： ICCIT  ページ： 550-556  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSデバイスを作製するための非常に重要な側面は,マイクロスケールレベルでの機械的性質の理解である。成分の機械的性質は材料に,微細構造に依存する。他の素子と異なり,MEMS部品は,繰返し荷重を受ける,固有応力を生成する特殊化した微細加工プロセスから開発した。負荷は,疲労の発生につながることをこれらのデバイスの作動中に生成した。疲れ現象は非常に重要であるMEMSデバイスの信頼性に及ぼす合議がした。本論文では,試験片は降伏強さの評価のための疲労試験のための試験した。MetalMUMPプロセスの設計ルールを試験装置を設計する際に追跡した。試験はFEM解析ソフトウェアで実施し,その結果を以前に設計した金構造と比較した。解析結果と結論を提示する目的で特定電圧限界で設計されたMEMSデバイスで試験した試験片の疲れ挙動の切歯レビューを目的としている。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 繰返し荷重 ,  降伏強さ ,  *疲れ試験 ,  微細加工 ,  切歯 ,  機械的性質 ,  金 ,  *生産工程 ,  試験装置 ,  微細構造 ,  試験片 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 疲労挙動 ,  有限要素解析 ,  設計規則 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 材料試験  (HB02020U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 製造プロセス ,  開発 ,  MEMS装置 ,  疲労試験