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J-GLOBAL ID：201702262887475486   整理番号：17A0887443

多結晶シリコンウエハの亜結晶粒境界からの欠陥ルミネセンスの微視的分布【Powered by NICT】

Microscopic Distributions of Defect Luminescence From Subgrain Boundaries in Multicrystalline Silicon Wafers

著者 (8件)： Nguyen Hieu T. (Research School of Engineering, Australian National University, Canberra, A.C.T., Australia) ,  Jensen Mallory A. (Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, MA, USA) ,  Li Li (Australian National Fabrication Facility, Department of Electronic Materials Engineering, Australian National University, Canberra, A.C.T., Australia) ,  Samundsett Christian (Research School of Engineering, Australian National University, Canberra, A.C.T., Australia) ,  Sio Hang C. (Research School of Engineering, Australian National University, Canberra, A.C.T., Australia) ,  Lai Barry (Advanced Photon Source, Argonne National Laboratory, Argonne, IL, USA) ,  Buonassisi Tonio (Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, MA, USA) ,  Macdonald Daniel (Research School of Engineering, Australian National University, Canberra, A.C.T., Australia)
資料名： IEEE Journal of Photovoltaics  (IEEE Journal of Photovoltaics)
巻： 7  号： 3  ページ： 772-780  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2305A  ISSN： 2156-3381  CODEN： IJPEG8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サブバンドギャップ発光(いわゆるD線D1/D2/D3/D4)及びバンド間ルミネセンス強度の微視的分布,太陽電池用多結晶シリコンウエハにおける再結合活性亜結晶粒界を近傍を調べた。装飾欠陥/不純物(D1/D2)と固有転位(D3/D4)からバンドギャップ以下の発光は明らかに異なる空間分布を持ち,亜結晶粒界を横切る非対称であることを見出した。D1/D2の存在はバンド間ルミネセンスの強い減少と相関し,高い再結合活性を示している。対照的に,D3/D4排出はバンド-バンド強度と強く相関していない。金属不純物の空間分解,シンクロトロンベースマイクロX線蛍光測定に基づいて,高密度金属不純物の強いD1/D2放出が低D3/D4発光の位置で存在することを確認した。最後に,亜結晶粒界を横切るバンドギャップ以下の発光の観察された非対称性はウエハ表面以下の傾斜に起因することを示した。ルミネセンス非対称性に基づいて,亜粒界は一般的な傾斜を共有する局所的に示し,よりもむしろランダム配向されている。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 不純物 ,  *ルミネセンス ,  発光 ,  バンドギャップ ,  *多結晶 ,  X線 ,  太陽電池 ,  亜粒界 ,  空間分布 ,  蛍光測定 ,  非対称性 ,  *亜結晶粒
準シソーラス用語： 高密度 ,  金属不純物 ,  *シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多結晶シリコン ,  ウエハ ,  亜結晶粒 ,  境界 ,  欠陥 ,  ルミネセンス ,  分布