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J-GLOBAL ID:201702262893435383   整理番号:17A0537855

均一設計に基づくMEMSジャイロスコープの温度キャリブレーション試験設計を設計した。【JST・京大機械翻訳】

The temperature calibration of MEMS gyro experiment design based on uniform design
著者 (7件):
資料名:
巻: 42  号: 12  ページ: 8-11  発行年: 2016年 
JST資料番号: C3059A  ISSN: 1674-5124  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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従来の温度試験方式には大きな試験時間と長い消費時間があるという問題を解決するために,均一設計法に基づく三軸マイクロ電気機械システム(MEMS)ジャイロスコープの温度キャリブレーション誤差補償方式を提案した。均一設計に基づく4つの因子(試験温度点,加熱速度,MEMSジャイロスコープの回転速度,および回転方向)を設計した。まず第一に,試験のために必要な均一性を構築した。第二に,MEMSジャイロスコープの温度キャリブレーション誤差補償実験の最適実験計画を,LP-バイアスに従って決定した。最後に,MEMSジャイロスコープの温度キャリブレーションの実験装置を構築した。実験結果は以下を示す。各要素の異なるレベルの組合せの全面的な設計方案と比べ、この試験方案は12.5%の試験時間を節約するだけではなく、さらにMEMSジャイロスコープ温度校正誤差の試験量を減らし、研究周期を短縮Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
著者キーワード (4件):
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固体デバイス製造技術一般 
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