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J-GLOBAL ID：201702263003892455   整理番号：17A0244745

a-Si_xC_yH_zにおける化学秩序の起源:密度汎関数法による強束縛分子動力学と統計熱力学計算

Origin of Chemical Order in a-Si_xC_yH_z: Density-Functional Tight-Binding Molecular Dynamics and Statistical Thermodynamics Calculations

著者 (6件)： KUWAHARA Takuya (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ITO Hiroshi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KAWAGUCHI Kentaro (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HIGUCHI Yuji (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  OZAWA Nobuki (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KUBO Momoji (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 120  号： 5  ページ： 2615-2627  発行年： 2016年02月11日 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アモルファス水素化炭化ケイ素(a-Si_xC_yH_z)は高度に化学的,機械的,および熱的に安定でエレクトロニクスおよび光学デバイスに重点的に研究されてきている。本研究はプラズマ強化化学蒸着(PECVD)によるa-Si_xC_yH_zの成長機構とミクロスコピックな構造を自己無撞着電荷密度汎関数法による強束縛分子動力学(SCC-DFTB)と統計熱力学(ST)計算により検討したものである。本研究により化学的に秩序だった構造が優先的に生じる理由および,組成が化学的秩序に及びす影響が明らかになった。結合転移とダングリングボンド(DB)移動機構によりそれぞれSi-Si結合およびC-C結合の生成が阻止され,優先的にSi-C結合を生じる。STモデルにより化学秩序が水素原子の割合に依存することを明らかにした。

シソーラス用語： *密度汎関数法 ,  *統計力学 ,  *分子動力学 ,  *強束縛近似 ,  *炭化ケイ素 ,  *水素化物 ,  プラズマCVD ,  機構 ,  転移反応 ,  ダングリングボンド ,  原子
準シソーラス用語： プラズマ強化化学蒸着 ,  水素原子 ,  成長機構 ,  *統計熱力学

分類 (3件)： 無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  統計力学一般,多体問題  (BA08010Q) ,  原子とラジカルの反応  (CB06030C)

タイトルに関連する用語 (7件)： 化学 ,  起源 ,  密度汎関数法 ,  束縛 ,  分子動力学 ,  統計熱力学 ,  計算