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J-GLOBAL ID：201702264074873092   整理番号：17A0216480

V₂O₅-ZnO-BaO-TeO₂系無鉛ガラス粉末のレーザー封止技術への応用

著者 (6件)： 小波誉幸 (鹿児島大学 大学院理工学研究科) ,  甲原好浩 (YEJガラス株式会社) ,  高尾良成 (YEJガラス株式会社) ,  大角義浩 (鹿児島大学 大学院理工学研究科) ,  武井孝行 (鹿児島大学 大学院理工学研究科) ,  吉田昌弘 (鹿児島大学 大学院理工学研究科)
資料名： 科学・技術研究  (Studies in Science and Technology)
巻： 5  号： 2  ページ： 205-208(J-STAGE)  発行年： 2016年 
JST資料番号： F1019A  ISSN： 2186-4942  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レーザー加工は新たな封止技術として注目されている。この技術は従来の封止方法である熱封止と比較し,材料への熱負荷の低減が可能であり,さらに封止時間の短縮が可能である。しかし,過度なエネルギー照射は被封着材である基板ガラスにクラックが生じるため,レーザー封止の操作条件の決定が必要である。本研究で使用したV₂O₅-ZnO-BaO-TeO₂系ガラス(V-Te系ガラス)は黒色で低融性を有しているガラスであるため,レーザーの吸収性に豊み,レーザー照射の出力を抑えることが可能であり,クラックの発生が抑制できる。本報では既往の研究で開発された41.9 wt% V₂O₅ 7.0 wt% ZnO 30.1 wt% TeO₂ 21.0 wt% BaO(V-8-Te30)ガラスに低熱膨張性セラミックフィラーであるリン酸タングステン酸ジルコニウム(ZWP)を15 wt%添加し,レーザー封止に最も適したガラス封止材として使用した。V-8-Te30ガラスに15 wt%ZWPを添加したガラスを用いて,ソーダライムガラスをレーザー照射速度0.25 mm/s,出力4.83 Wで気密封止を行ったところ,低出力で封止できることを実証した。(著者抄録)

シソーラス用語： 固体素子 ,  セラミックパッケージ ,  レーザ加工 ,  *密封 ,  *ガラス ,  *酸化亜鉛 ,  *酸化バリウム ,  *酸化テルル ,  *リン酸塩 ,  *タングステン酸塩 ,  *ジルコニウム化合物 ,  *ソーダ石灰ガラス ,  *レーザ照射 ,  *酸化バナジウム
準シソーラス用語： 電子デバイス ,  封止 ,  無鉛ガラス ,  ZWP

著者キーワード (5件)： 封着加工用ガラス ,  レーザー封止 ,  V2O5-ZnO-BaO-TeO2ガラス ,  低融性ガラス ,  ソーダライムグラス

分類 (3件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  ガラスの製造  (YC02020O) ,  密封装置  (QB01100J)

タイトルに関連する用語 (7件)： ZnO ,  BaO ,  無鉛ガラス ,  粉末 ,  レーザー ,  封止 ,  応用