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J-GLOBAL ID：201702264245204196   整理番号：17A0699797

ディープサブミクロンスケールでの材料の3D相関形態学的および元素特性化【Powered by NICT】

3D correlative morphological and elemental characterization of materials at the deep submicrometre scale

著者 (12件)： PRIEBE A. (Universite Grenoble Alpes, Grenoble, Cedex, France. [e-mail]) ,  PRIEBE A. (CEA, LETI, Grenoble, Cedex, France. [e-mail]) ,  GORET G. (Universite Grenoble Alpes, Grenoble, Cedex, France) ,  GORET G. (CEA, LETI, Grenoble, Cedex, France) ,  BLEUET P. (Universite Grenoble Alpes, Grenoble, Cedex, France) ,  BLEUET P. (CEA, LETI, Grenoble, Cedex, France) ,  AUDOIT G. (Universite Grenoble Alpes, Grenoble, Cedex, France) ,  AUDOIT G. (CEA, LETI, Grenoble, Cedex, France) ,  LAURENCIN J. (Universite Grenoble Alpes, Grenoble, Cedex, France) ,  LAURENCIN J. (CEA, LITEN, Grenoble, Cedex, France) ,  BARNES J.-P. (Universite Grenoble Alpes, Grenoble, Cedex, France) ,  BARNES J.-P. (CEA, LETI, Grenoble, Cedex, France)
資料名： Journal of Microscopy  (Journal of Microscopy)
巻： 264  号： 2  ページ： 247-251  発行年： 2016年 
JST資料番号： B0454B  ISSN： 0022-2720  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： X線計算ナノトモグラフィ(CNT)は形態と元素構造の両方を調べるために同じ試料上に集束イオンビーム飛行時間二次イオン質量分析(FIB TOF SIMS)トモグラフィーと相関させることができるかを示した。この方法論はいくつかの十ミクロンのディメンションを有した比較的大きな試料に適用可能である100nmのオーダーの高い空間分解能を維持する。しかし,X線CNTとFIB-TOF-SIMSトモグラフィーを組み合わせた測定の間の試料を化学的に修飾することまたは構造的に受けないで正確に同一試料についての両実験を可能にする革新的な試料調製プロトコルを必要とする。さらに,専用のアルゴリズムは,九自由度のバイアスされていることを効果的なデータ融合のために開発した。この方法はサイズの異なる大きさの三桁の特徴を有している-百ナノメータの大きな細孔と十ミクロン広い機能層の粒子からの多孔性と不均一固体酸化物燃料電池(SOFC)を用いて試験した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： プロトコル ,  X線 ,  *三次元 ,  細孔 ,  空間分解能 ,  *モルフォロジー ,  集束イオンビーム ,  多孔性 ,  試料調製 ,  *キャラクタリゼーション ,  データ融合 ,  トモグラフィー
準シソーラス用語： ナノメータ ,  TOF-SIMS ,  ナノトモグラフィー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 化学構造 ,  3D相関トモグラフィー ,  FIB-TOF-SIMSトモグラフィー ,  形態学的構造 ,  固体酸化物燃料電池 ,  X線ナノトモグラフィー

分類 (1件)： 生体の顕微鏡観察法  (EA03050C)

タイトルに関連する用語 (5件)： 3D ,  相関 ,  形態学 ,  元素 ,  特性化