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J-GLOBAL ID：201702264673551395   整理番号：17A0118274

Q増強とフィードスルー電流除去のためのMEMSベース静電共振器のための新しい特性化法【Powered by NICT】

A novel characterization method for MEMS based electrostatic resonators for Q enhancement and feedthrough current elimination

著者 (5件)： Aydin E. (Dept. of Electrical and Electronics Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey) ,  Kangul M. (Dept. of Electrical and Electronics Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey) ,  Gokce F. (Dept. of Electrical and Electronics Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey) ,  Zorlu O. (Mikro Biyosistemler Elektronik Sanayi ve Ticaret A.S,., Ankara, Turkey) ,  Kulah H. (Dept. of Electrical and Electronics Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,出力電流で2~Nd高調波歪み項に基づく静電共鳴を特性評価するための新しい方法を紹介した。出力電流の数学的解析は2~含まれる高調波成分は1~一高調波よりも高い品質因子(Q)を示すことが分かった。に加えて,フィードスルー電流比への出力電流は2~Nd調和項で高かった。実験結果は共振系のQは2~Nd高調波動作で66%増強されることを示した。さらに,共鳴ピークは0.2dBから5dBに改善され,フィードスルー比出力電流の効果的な増加を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *キャラクタリゼーション ,  高調波 ,  高調波歪 ,  *MEMS ,  共鳴 ,  振動系 ,  共振器 ,  *電流
準シソーラス用語： 比出力 ,  品質因子 ,  数学的解析 ,  *フィードスルー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 電動機  (NB07030U) ,  ディジタルフィルタ  (NC04022Z) ,  音響信号処理  (BB03050C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 増強 ,  フィード ,  スルー電流 ,  MEMS ,  共振器 ,  特性化