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J-GLOBAL ID：201702265863204471   整理番号：17A0741364

焼なまし温度の関数としてのカーボンナノウォールの特性化

Characterization of Carbon Nano Wall as a Function of Annealing Temperature

著者 (7件)： CHOI Won Seok (Hanbat National Univ., Daejeon, KOR) ,  PARK Young (Korea Railroad Res. Inst., Gyeonggi-do, KOR) ,  KWON Seok Hun (Hanbat National Univ., Daejeon, KOR) ,  LEE Dae-Dong (Hanbat National Univ., Daejeon, KOR) ,  JOUNG Yeun-Ho (Hanbat National Univ., Daejeon, KOR) ,  KIM Jung Hyun (Hanbat National Univ., Daejeon, KOR) ,  KANG Hyunil (Hanbat National Univ., Daejeon, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 16  号： 11  ページ： 11477-11479  発行年： 2016年11月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 焼なまし温度がカーボンナノウォール(CNW)の性質に及ぼす影響を調べた。反応気体にCH₄と水素を用いて,p型Si(100)基板上にCNWをMPECVDにより堆積させた。堆積させたCNWを真空中600~900°Cで高速熱アニーリング(RTA)により5分間焼なました。CNWの構造をX線回折と走査電子顕微鏡(SEM)により調べた。表面はRTA温度に極めて敏感で,温度が600°Cから900°Cへ上昇すると,膜の結晶化率も上昇した。CNWの結晶粒径は焼なまし温度の上昇と共に増大した。焼なまし温度を高めると,CNWの性質が改善した。

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  RTA【熱処理】 ,  *温度 ,  温度依存性 ,  *プラズマCVD ,  薄膜成長 ,  結晶成長 ,  X線構造解析 ,  X線回折 ,  電子顕微鏡観察 ,  結晶化
準シソーラス用語： *カーボンナノウォール ,  *焼きなまし温度

分類 (1件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (4件)： 焼なまし温度 ,  関数 ,  カーボンナノウォール ,  特性化