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J-GLOBAL ID：201702266247497624   整理番号：17A0471499

多層TiAlCrN薄膜の構造と耐酸化性に及ぼすCr添加の影響【Powered by NICT】

Influence of Cr additions on the structure and oxidation resistance of multilayered TiAlCrN films

著者 (5件)： Danek M. (Department of Control Engineering, Faculty of Electrical Engineering, Czech Technical University in Prague, Czech Republic) ,  Fernandes F. (SEG-CEMUC, Department of Mechanical Engineering, University of Coimbra, Rua Luis Reis Santos, 3030-788 Coimbra, Portugal) ,  Cavaleiro A. (SEG-CEMUC, Department of Mechanical Engineering, University of Coimbra, Rua Luis Reis Santos, 3030-788 Coimbra, Portugal) ,  Polcar T. (Department of Control Engineering, Faculty of Electrical Engineering, Czech Technical University in Prague, Czech Republic) ,  Polcar T. (nCATS, Highfield Campus, University of Southampton, Southampton SO17 1BJ, United Kingdom)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 313  ページ： 158-167  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： NaCl型構造をもつTi_1 xAl_xN被覆は,それらの優れた機械的,熱的およびトライボロジー的特性により,先端マシニング及び他の高温応用に広く使用されている。ここでは,マグネトロンスパッタリングにより蒸着した多層TiAlN/CrAlN皮膜の構造,機械的性質及び酸化抵抗,酸化物スケール特性化を含む,に及ぼすCr添加の影響を調べた。Crリッチ皮膜の特性を参照として堆積したTiAlN膜と比較した。XRD回折分析では,全ての被覆は,fcc NaCl型構造を示すことを明らかにした。しかし,TiAlN単層のTi及びAlは固溶体を形成しているが,Crリッチ被膜のための,固溶体を形成する,多層構造交互TiAlNおよびCrAlN層は試料ホルダと十分に高い蒸着速度の遅い回転と組み合わせた蒸着チャンバ内の標的分布の幾何学の結果として成長させた。TGA測定は,Cr添加は,被膜の酸化性能を増加することを示した。Ti_0Ga0.47Al_0 0.46Nに対して,二重酸化物層は800°Cで試験した時に起こる,TiO_2の多孔質内部と酸化からの被覆を保護する外Al酸化物のコンパクトな連続層であった。900°Cでこの膜の耐酸化性は,連続した保護Al酸化物層の形成を妨げる表面に高速Tiイオン拡散のために分解した。Crリッチ被膜を,その化学的組成に依存して種々の酸化物スケールを示した。Ti_0 0.30Al_0 0.46Cr_0 26NとTi_0 28Al_0 0.34Cr_0 0.42Nのために,試料を900°Cと1000°Cで試験し,より高い温度のより厚い酸化物層であった場合Ti-Oリッチ層が保護Al-Cr-O層の表面に形成される。最高のCr含有量(Ti_0 28Al_0 31Cr_0 0.51N)被覆について,コンパクトで連続的Cr(Al)2O_3酸化物層はトップに及ぼす残留TiO_2島をもつ九十万千°Cで形成され,耐酸化性の顕著な増大に寄与した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  *耐酸化性 ,  多孔性 ,  多層構造 ,  キャラクタリゼーション ,  トライボロジー ,  化学組成 ,  *チタン ,  *クロム ,  X線回折 ,  *アルミニウム ,  塩化ナトリウム ,  高速度 ,  高温 ,  固溶体

著者キーワード (4件)： 多層TiAlCrN薄膜 ,  構造 ,  耐酸化性 ,  酸化物スケール

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  防食  (WB03040M)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多層 ,  薄膜 ,  耐酸化性 ,  Cr