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J-GLOBAL ID：201702266424944420   整理番号：17A0169089

ゾル-ゲル法によって調製したZNO:SN薄膜の特性に及ぼすアニーリング雰囲気の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Effect of Annealing Atmosphere on Properties of ZnO : Sn Thin Films Prepared by Sol Gel Method

著者 (6件)： Lao Zixuan (College of Mechanical and Electronic Engineering, Jingdezhen Ceramic Institution) ,  Hu Yuehui (College of Mechanical and Electronic Engineering, Jingdezhen Ceramic Institution) ,  Chen Yichuan (College of Mechanical and Electronic Engineering, Jingdezhen Ceramic Institution) ,  Shuai Weiqiang (College of Mechanical and Electronic Engineering, Jingdezhen Ceramic Institution) ,  Tong Fan (College of Mechanical and Electronic Engineering, Jingdezhen Ceramic Institution) ,  Fan Jianbin (College of Mechanical and Electronic Engineering, Jingdezhen Ceramic Institution)
資料名： Zhongguo Taoci  (Zhongguo Taoci)
巻： 52  号： 10  ページ： 12-16  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2267A  ISSN： 1001-9642  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ゾル-ゲル法を用いて,石英ガラス上に酸化亜鉛(ZNO:SN)透明導電性薄膜を調製し,異なるアニール雰囲気でアニールし,薄膜の微細構造と光電特性に及ぼすアニーリング雰囲気の影響を調べた。X線回折,走査電子顕微鏡,紫外-可視分光光度計,および四プローブ試験装置を用いて,薄膜の特性を分析した。異なる雰囲気条件下で熱処理したZNOは,以下の通りであった。SN薄膜はウルツ鉱型構造であり,C軸に沿って優先的に成長し,可視光領域(400~900NM)での平均透過率は80%以上であった。その中で、窒素雰囲気下でアニール処理した薄膜の抵抗率は3.152×10(-2)Ω・CMに減少し、不活性ガス中での熱処理は薄膜の光電特性を有効に向上させた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,  透過率 ,  X線回折 ,  *薄膜 ,  導電性 ,  走査電子顕微鏡 ,  *焼なまし ,  電気抵抗率 ,  石英ガラス ,  *ゾル-ゲル法
準シソーラス用語： 窒素雰囲気 ,  可視領域 ,  ウルツ鉱型構造 ,  紫外可視分光光度計 ,  光電気 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Sol gel ,  Sn doped ZnO thin films ,  Annealing atmosphere ,  Photoelectric properties

分類 (2件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (9件)： ゾル ,  ゲル ,  調製 ,  ZnO ,  Sn ,  薄膜 ,  アニーリング ,  雰囲気 ,  研究