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J-GLOBAL ID：201702266502106955   整理番号：17A0077619

加速度計の性能試験と解析を行った。【JST・京大機械翻訳】

Analysis And Performance Test of High - range Accelerometer

著者 (6件)： Chen Yanxiang (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education) ,  Shi Yunbo (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education) ,  Zhi Dan (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education) ,  Yang Zhicai (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education) ,  Zou Kun (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education) ,  Feng Hengzhen (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education)
資料名： Yibiao Jishu yu Chuanganqi  (Yibiao Jishu yu Chuanganqi)
号： 5  ページ： 18-20,34  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2449A  ISSN： 1002-1841  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マイクロカンチレバー検出構造に基づく新しい二軸MEMS面内の高加速度センサに対して、ハンマー衝撃校正装置と棒衝撃キャリブレーション装置を通じて、センサーの感度と周波数応答特性を測定した。実験結果は以下を示す。このセンサの敏感構造X軸方向の感度は0である。470±0。その結果,動作周波数帯は,3つの周波数帯において,それぞれ,3,3,3,3,5,55KHZ;Y軸方向の感度は((±0.03ΜMOL/G,振幅誤差±5%のとき,動作周波数は16KHZであった。この加速度センサはシリコン平面内の2つの軸の高G加速度信号の測定を実現し、後期の三軸高の加速度センサーに用いることができる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： MEMS ,  センサ ,  *性能試験 ,  周波数帯 ,  周波数特性 ,  *加速度 ,  衝撃 ,  軸方向 ,  二軸 ,  *加速度計
準シソーラス用語： 三軸 ,  動作周波数 ,  ハンマ ,  加速度センサ ,  マイクロカンチレバー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： accelerometer ,  high-g ,  biaxial ,  in plane ,  test

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (3件)： 加速度計 ,  性能試験 ,  解析