文献

J-GLOBAL ID：201702267063717028   整理番号：17A0414165

窒化ケイ素フォトニック集積回路を用いたシリコンフォトニクスポートフォリオの拡大【Powered by NICT】

Expanding the Silicon Photonics Portfolio With Silicon Nitride Photonic Integrated Circuits

著者 (20件)： Rahim Abdul (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Ryckeboer Eva (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Subramanian Ananth Z. (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Clemmen Stephane (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Kuyken Bart (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Dhakal Ashim (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Raza Ali (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Hermans Artur (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Muneeb Muhammad (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Dhoore Soren (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Li Yanlu (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Dave Utsav (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Bienstman Peter (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Le Thomas Nicolas (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Roelkens Gunther (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Van Thourhout Dries (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium) ,  Helin Philippe (IMEC, Leuven, Belgium) ,  Severi Simone (IMEC, Leuven, Belgium) ,  Rottenberg Xavier (IMEC, Leuven, Belgium) ,  Baets Roel (Photonics Research Group, Department of Information Technology, IMEC and Center for Nano- and Biophotonics, Ghent University, Ghent, Belgium)
資料名： Journal of Lightwave Technology  (Journal of Lightwave Technology)
巻： 35  号： 4  ページ： 639-649  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0922A  ISSN： 0733-8724  CODEN： JLTEDG  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高屈折率コントラストシリコン・オン・インシュレータ基板は,フォトニック集積のための支配的なCMOS互換性プラットフォームである。フォトニックチップを適用できる光通信応用におけるシリコンフォトニックチップ使用の成功は,新しい地域への道を開いた。センシングと分光学的応用のための競合技術として出現している。シリコンフォトニクスへの応用のこの増加範囲は新材料の探索に関心を誘発する,シリコン-オン-絶縁体は,これらの新しいアプリケーションのためのいくつかの欠点を持っているので,例えば,けい素は可視波長領域で透明ではない。窒化ケイ素は,代替材料プラットフォームである。は中程度に高い屈折率コントラストを有し,シリコン-オン-絶縁体のような,フォトニック集積回路を製造するためのCMOSプロセスを用いた。本論文では,これらの二材料プラットフォームに関連する利点と課題を考察した。,様々なシリコンフォトニック応用に広く使用されている,分散分光計の場合は,これらの二材料プラットフォームを提示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 互換性 ,  屈折率 ,  *光集積回路 ,  *ケイ素 ,  コントラスト ,  複合材料 ,  絶縁材料 ,  *窒化ケイ素 ,  分光計 ,  CMOS ,  絶縁体
準シソーラス用語： CMOSプロセス ,  代替材料 ,  新素材 ,  *シリコンフォトニクス ,  高屈折率 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (3件)： 窒化ケイ素 ,  フォトニック集積回路 ,  拡大