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J-GLOBAL ID：201702267070853573   整理番号：17A0369427

エラストマ基板上のPdナノギャップから成るH_2センサのセンシング特性の熱安定性【Powered by NICT】

Thermal stability of the sensing properties in H₂ sensors composed of Pd nanogaps on an Elastomeric Substrate

著者 (4件)： Jang Byungjin (Department of Materials Science and Engineering, Yonsei University, 262 Seongsanno, Seoul 120-749, Republic of Korea) ,  Kim Wonkung (Department of Materials Science and Engineering, Yonsei University, 262 Seongsanno, Seoul 120-749, Republic of Korea) ,  Song Min-Jung (College of Liberal Art & Interdisciplinary Studies, Kyonggi University, 154-42 Gwanggyosan-ro, Yeongtong-gu, Suwon-si, Gyeonggi-do 443-760, Republic of Korea) ,  Lee Wooyoung (Department of Materials Science and Engineering, Yonsei University, 262 Seongsanno, Seoul 120-749, Republic of Korea)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 240  ページ： 186-192  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pd MOTIFE(エラストマに対する高移動性パラジウム薄膜)に基づくH_2センサの感知特性に及ぼす熱曝露の影響を調べた。このセンサはポリ(ジメチルシロキサン)(PDMS)基板上に作製し,そのPdナノギャップは機械的伸張とH_2曝露により得た。基板は80 200°Cでアニールしたとき,しわがPDMS層とPd膜の間の熱膨張係数の不整合に起因する応力を解放するために形成された。しわの波長とPDMS層の圧縮応力は焼なまし温度の関数として簡単な方程式を用いて推定した。アニールした試料のPdナノギャップの幅は,SEM分析を用いて測定した。より高いアニーリング温度はしわの波長の減少とPdナノギャップの幅の増加をもたらした。これはPDMSとPDMS層の間の圧縮応力と歪の個々の変動の増加に起因した。拡大したPdナノギャップセンサの性能の減少に寄与した。それにもかかわらず,100°Cまでの温度でアニールしたときPdセンサは1s以下の応答時間で完全にオンオフ動作を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 薄膜 ,  不整合 ,  波長 ,  *センサ ,  応答時間 ,  延伸 ,  圧縮応力 ,  *熱安定性 ,  熱膨張係数 ,  *パラジウム
準シソーラス用語： アニーリング温度 ,  焼きなまし温度 ,  移動性 ,  *ナノギャップ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： パラジウム(Pd) ,  ナノギャップ ,  水素センサ ,  ポリ(ジメチルシロキサン)(PDMS) ,  熱安定性

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： エラストマ ,  Pd ,  ナノギャップ ,  センシング ,  熱安定性