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J-GLOBAL ID：201702269143223452   整理番号：17A0471327

ヘテロ原子ドーピングにより修飾されたグラファイト表面上のケイ素ポリマー薄膜のミクロ配向制御【Powered by NICT】

Micro-orientation control of silicon polymer thin films on graphite surfaces modified by heteroatom doping

著者 (3件)： Shimoyama Iwao (Material Science Research Center, Atomic Energy Agency, Tokai-mura 2-4, Naka-gun, Ibaraki 319-1195, Japan) ,  Baba Yuji (Fukushima Administrative Department, Atomic Energy Agency, Tokai-mura 2-4, Naka-gun, Ibaraki 319-1195, Japan) ,  Hirao Norie (Material Science Research Center, Atomic Energy Agency, Tokai-mura 2-4, Naka-gun, Ibaraki 319-1195, Japan)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 405  ページ： 255-266  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近吸収端X線吸収微細構造(NEXAFS)分光法を用いて,イオンビームドーピングにより作製したヘテロ原子を添加したグラファイト基板上に蒸着したポリジメチルシラン(PDMS)膜の配向構造を研究するために適用した。PDMSのSiK吸収端NEXAFSスペクトルは,非照射およびN_2~+照射した基板のための偏光依存性の逆の傾向を示し,Ar~+照射した基板のための偏光依存性を示さなかった。第一原理計算によるNEXAFSスペクトルの理論的解釈に基づいて,PDMS膜は,非照射,N_2~+照射した,Ar~+照射した基板上の横臥,立位,およびランダム配向であったことを明らかにした。,光電子放出電子顕微鏡はPDMS膜の配向グラファイト表面上に照射及び非照射領域を分離することにより,μmのオーダの微細構造で制御できることを示した。これらの結果は,イオンビームドーピングを用いた黒鉛の表面改質は有機薄膜のミクロ配向制御に有用であることを示唆した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 吸収端 ,  表面改質 ,  *ケイ素 ,  光電子放出 ,  XAFS ,  *高分子薄膜 ,  微細構造 ,  *グラファイト ,  有機薄膜 ,  ランダム配向 ,  第一原理計算 ,  偏光依存性 ,  NEXAFS ,  *配向制御 ,  *ヘテロ原子

著者キーワード (5件)： ポリシラン ,  配向制御 ,  黒鉛 ,  ヘテロ原子ドーピング ,  NEXAFS

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ヘテロ原子 ,  ドーピング ,  修飾 ,  グラファイト ,  ケイ素 ,  ポリマー薄膜 ,  配向制御