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文献
J-GLOBAL ID:201702269786110009   整理番号:17A1140618

RFスパッタBaTiO3高誘電体薄膜におけるリーク電導の検討

著者 (3件):
資料名:
巻: 78th  ページ: ROMBUNNO.7a-PA6-3  発行年: 2017年08月25日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (3件):
分類
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酸化物薄膜  ,  金属-絶縁体-金属構造  ,  LCR部品 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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