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J-GLOBAL ID：201702270602035220   整理番号：17A0159415

回折格子解析における摂動の応用【JST・京大機械翻訳】

Application of Perturbation Method in the Analysis of Diffraction Gratings

著者 (4件)： Fan Lijing (School of Physical Electronics,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Chen Shuqiang (School of Physical Electronics,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Yan Yujie (School of Physical Electronics,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Ma Lei (School of Physical Electronics,University of Electronic Science and Technology of China)
資料名： Dianzi Xuebao  (Dianzi Xuebao)
巻： 44  号： 9  ページ： 2046-2050  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2504A  ISSN： 0372-2112  CODEN： TTHPAG  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロニクス構造によく見られる二次元回折格子の分析において、厳密結合波分析法(RIGOROUS COUPLED WAVE ANALYSIS,RCWA)方法は消費を計算する際に、メモリの占有率が大きい。本論文では、摂動とRCWAを結合したアルゴリズムを二次元回折格子分析に応用し、その計算効率を向上させる。長方形格子の問題を解決するとき,格子をステップ近似として使用する必要がある。RCWAの固有値をRCWA法により求め,他の層の固有値を摂動法により得た。実験結果は,摂動が計算精度を満たすことができ,計算効率も改善されることを示した。本論文の例では,格子の切断次数が12の場合,計算時間は45%節約できる.Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 固有値 ,  記憶装置 ,  CPU時間 ,  マイクロエレクトロニクス ,  摂動法 ,  占有率 ,  正方格子 ,  二次元 ,  *摂動 ,  近似法 ,  アルゴリズム ,  *回折格子
準シソーラス用語： 次数 ,  計算精度 ,  計算効率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： gratings ,  perturbation method ,  diffraction ,  RCWA

分類 (2件)： 光の散乱,回折,干渉  (BD03030M) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 回折格子 ,  解析 ,  摂動 ,  応用