文献

J-GLOBAL ID：201702271074468352   整理番号：17A0531444

単結晶シリコン表面におけるピラミッド構造の反射特性に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on Reflection Properties of Monocrystalline Silicon Surface with Pyramids Microstructure

著者 (4件)： Huang Xin (College of Science,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics) ,  Han Mingzhu (College of Science,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics) ,  Jiang Xiaoxin (College of Science,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics) ,  Yang Yannan (College of Science,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics)
資料名： Bandaoti Guangdian  (Bandaoti Guangdian)
巻： 37  号： 6  ページ： 800-804  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2379A  ISSN： 1001-5868  CODEN： BAGUE5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 化学エッチング法によって調製した単結晶シリコン薄膜の構造を分析し、ピラミッドの微細構造の数学モデルを構築し、時間領域有限差分法(FDTD)を用いて、波長が300~1000NMの範囲内で、計算結果を実験結果と比較し,解析し,説明した。これらの結果に基づき,異なる実験条件の下で形成された金字塔微構造の差異に対して,いくつかの異なるパラメータのピラミッド構造表面の反射率が波長によって変化する法則を数値的に計算した。結果は,反射率がピラミッドのデューティサイクルと傾斜角の増加によって減少するが,ピラミッドのサイズが反射率に及ぼす影響は小さいことを示した。ピラミッドの構造パラメータは,底面の長さ2ΜM,デューティサイクル1,傾斜角約60°のとき,平均反射率は,わずか%%であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *単結晶 ,  有限差分時間領域法 ,  *角錐 ,  傾斜角 ,  波長 ,  構造パラメータ ,  微細構造 ,  反射率 ,  数学モデル
準シソーラス用語： デューティサイクル ,  シリコン薄膜 ,  化学エッチング ,  *反射特性 ,  *単結晶シリコン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： diffraction ,  anti-reflection ,  finite-difference time-domain ,  pyramids ,  monocrystalline silicon

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 単結晶シリコン ,  ピラミッド ,  反射特性 ,  研究