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J-GLOBAL ID：201702271408170576   整理番号：17A0407021

希土類永久磁石SmCo_5膜の作製と機械的特性【Powered by NICT】

Fabrication and mechanical characterization of rare earth permanent magnet SmCo₅ films

著者 (5件)： Kuru M. (Department of Materials Science and Engineering, Erciyes University, Kayseri, Turkey) ,  Kuru M. (Department of Materials Science and Engineering, Ondokuz Mayis University, Samsun, Turkey) ,  Sahin O. (Mustafa Kemal University, Science and Art Faculty Micro/Nanomechanic Characterization Lab., Hatay, Turkey) ,  Ozarslan S. (Mustafa Kemal University, Science and Art Faculty Micro/Nanomechanic Characterization Lab., Hatay, Turkey) ,  Ozmetin A.E. (Texas A&M University, Materials Science and Engineering Department, College Station, TX, USA)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 694  ページ： 726-732  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,RFマグネトロンスパッタリング法により作製した希土類永久磁石(REPM)SmCo_5薄膜の機械的性質を報告した。厚さ1μmのSmCo_5薄膜を室温でSi(100)基板上に成長させ,その後,400°Cでアニールした。堆積中チャンバーにおけるO_2を減少させるために十分注意した。SmCo_5薄膜の機械的及び構造的性質を,ナノインデンテーションとin situ走査型プローブ顕微鏡(SPM),すれすれ入射X線回折(GIXRD),走査電子顕微鏡(SEM)技術を用いて研究した。SmCo_5薄膜のナノインデンテーション誘起塑性を,インデント断面積のin situ SPM画像により特性化した。ナノインデンテーションの結果は,荷重-変位曲線は連続的で滑らかなはパイルアップとシンクイン挙動ではないことを示した。REPM SmCo_5の弾性率とナノ硬さ値はピーク荷重依存性を示した。ナノ硬さは押込試験負荷の増加に伴って増加したが,減少した弾性率は押込試験荷重と共に減少した。固有ナノ硬さと固有の減少した弾性率の得られた値は,それぞれ3.47±0.07GPaと43.09±1.60GPaであった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 弾性係数 ,  構造特性 ,  走査電子顕微鏡 ,  キャラクタリゼーション ,  ナノインデンテーション ,  塑性 ,  薄膜 ,  *永久磁石
準シソーラス用語： 押込試験 ,  荷重依存性 ,  ナノ硬さ ,  荷重-変位曲線 ,  すれすれ入射X線回折 ,  チャンバ ,  RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： SmCo_5薄膜 ,  機械的性質 ,  ナノインデンテーション

分類 (3件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 希土類 ,  永久磁石 ,  作製 ,  機械的特性